微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望  

Review and Prospects of Research on Micro-opto-electro-mechanical System

作　　者：陈非凡[1] 殷玲[1] 李云龙[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器及机械学系,北京100084

出　　处：《微细加工技术》2002年第3期1-7,共7页Microfabrication Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (6 99780 0 8) ;教育部高等学校骨干教师基金资助项目 (2 0 0 0年度 )

摘　　要：微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能。MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起。着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状 ,阐述了MOEMS的基本特征 ,列举了一些典型的MOEMS系统 。Micromachining technology offers a wide range of possibilities for the combination of micro optics and MEMS. MOEMS has emerged as a new rising research area of multi subjects crossing.The current progresses of the research and development of MOEMS techniques based on the MEMS technologies and the present research status at home are mainly introduced.The basic features of MOEMS,typical MOEMS system and development trends of MOEMS techniques are discussed and analyzed.

关 键 词：研究现状 微光机电系统 MOEMS 微机电系统 MEMS 微机械加工技术 发展趋势 

分 类 号：TN2[电子电信—物理电子学] TH－39[机械工程]