微波MEMS移相器的特性分析与实现  

Characteristic analysis and realization of microwave MEMS phase shifter

作　　者：李炜[1] 石艳玲[1] 朱自强[1] 赖宗声[1] 

机构地区：[1]华东师范大学电子科学技术系,上海200062

出　　处：《半导体技术》2003年第11期19-23,共5页Semiconductor Technology

基　　金：国家973项目 (G1999033105);国家自然科学基金(69876012);国家杰出青年基金(69975409);上海-应用材料研究与发展基金项目(0103);上海市重点学科项目(012261028)

摘　　要：从移相器的基本原理出发,分别介绍了开关线型、耦合器型和加载线型三种采用微机械加工技术制备而成的微波MEMS移相器的结构特点和工作原理。在此基础上,设计制备了CPW分布式加载线型MEMS移相器,并进行测试和分析,结果表明MEMS移相器较传统的移相器有微型化、低损耗、低成本、宽带等突出优点。Beginning with the principle of phase shifter, switched-line phase shifter, coupler-typephase shifter and loaded-line phase shifter made by MEMS techniques are introduced in turn. Afterthat, CPW distributed loaded MEMS phase shifter are designed and manufactured, the result ofmeasurement shows that MEMS phase shifter has more advantage than traditional phase shifter,such as micromation, low loss, low cost, broadband.

关 键 词：MEMS 移相器 微电子机械系统 微波集成电路 开关线型 耦合器 

分 类 号：TN623[电子电信—电路与系统]