李炜

作品数：7被引量：21H指数：3
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供职机构：华东师范大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
发文主题：微电子机械系统驱动电压移相器MEMS移相器微机电系统更多>>
发文领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《华东师范大学学报（自然科学版）》《固体电子学研究与进展》《电子技术（上海）》《微电子学》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划上海市教育委员会重点学科基金国家自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
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射频分布式MEMS移相器Bragg频率的研究
《华东师范大学学报（自然科学版）》2004年第2期58-63,共6页卿健 石艳玲 李炜 朱自强 赖宗声 
国家973项目(G1999033105);国家自然科学基金(60306012);上海应用材料研究与发展基金项目(0103&0301);上海市重点学科建设项目(2001年)
详细讨论了Bragg频率产生的原因及其分析方法,并依据微波网络理论对不同结构参数MEMS移相器的Bragg频率进行了分析比较。计算结果表明Bragg频率随共平面波导信号线宽度增大、随微桥周期间距增大而降低。对特征阻抗50 Ω、周期间距300μ...
关键词：Bragg频率 微机电系统 移相器 CPW传输线 
偏置电压对射频/微波MEMS电容开关寿命的影响被引量：1
《微电子学》2004年第1期30-33,37,共5页龙永福 石艳玲 赖宗声 朱自强 朱荣锦 忻佩胜 李炜 
国家重点基础研究项目(973)(G1999033105);国家杰出青年基金(69925409);上海市AM基金;上海市科技发展基金(015211066);上海市重点学科基金(012261028)共同资助
　理论分析了影响射频/微波MEMS电容开关寿命的因素:介质内的电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度。用三种不同的偏置电压,对介质内电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度进行了数值分析和比较。提出了在脉冲电压作用下,可得到可动薄...
关键词：偏置电压 射频/微波电路 MEMS电容开关 寿命 电场强度 冲击速度 
低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器被引量：4
《电子学报》2003年第12期1914-1916,共3页石艳玲 卿健 李炜 忻佩胜 朱自强 赖宗声 
国家973项目集成微光机电系统研究(No.G1 9990 331 0 5);国家自然科学基金(No .698760 1 2 );国家杰出青年基金(No.6997540 9);上海应用材料研究与发展基金(No.0 1 0 3);上海市重点学科项目(No.0 1 2 2 61 0 2 8)
通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果...
关键词：微机械移相器 高阻硅 驱动电压 振动寿命 MEMS 共平面波导 
微波MEMS移相器的特性分析与实现被引量：2
《半导体技术》2003年第11期19-23,共5页李炜 石艳玲 朱自强 赖宗声 
国家973项目 (G1999033105);国家自然科学基金(69876012);国家杰出青年基金(69975409);上海-应用材料研究与发展基金项目(0103);上海市重点学科项目(012261028)
从移相器的基本原理出发,分别介绍了开关线型、耦合器型和加载线型三种采用微机械加工技术制备而成的微波MEMS移相器的结构特点和工作原理。在此基础上,设计制备了CPW分布式加载线型MEMS移相器,并进行测试和分析,结果表明MEMS移相器较...
关键词：MEMS 移相器 微电子机械系统 微波集成电路 开关线型 耦合器 
电容式MEMS开关中弹性膜应力对驱动电压的影响被引量：3
《固体电子学研究与进展》2003年第4期514-519,共6页李炜 石艳玲 忻佩胜 朱自强 赖宗声 
国家 973项目<集成微光机电系统研究>(G19990 3 3 10 5);国家自然科学基金 (698760 12 );国家杰出青年基金(6997540 9);上海 -应用材料研究与发展基金项目 (0 10 3 );上海市重点学科项目 (0 12 2 610 2 8);上海市重点学科项目 (2 0 0 1年 )的资助
详细分析了多种参数对 MEMS电容式开关驱动电压的影响 ,包括材料选取和工艺参数变化 ,并对驱动电压理论值进行计算。利用表面微机械加工技术在硅衬底上实现了电容式开关 ,测试结果表明采用 Al0 .96 Si0 .0 4弹性膜和厚胶牺牲层工艺能获...
关键词：电容式MEMS开关 弹性膜 驱动电压 微电子机械系统 铝硅弹性膜 
一种用于自动报警的视频监控系统的设计被引量：6
《电子技术（上海）》2003年第7期49-51,共3页卿健 李炜 魏华征 
文章介绍了一种可实现无人值守下自动报警的视频监控系统的设计。该系统通过对视频信号的提取和图像处理 ,实现了对非法侵入事件的自动报警 ,并具备监控范围可调及屏蔽显示等功能。
关键词：自动报警 视频监控系统 图像处理 窗口标识 信号提取 
低阻硅基厚膜聚酰亚胺上共面波导的损耗特性被引量：5
《固体电子学研究与进展》2003年第3期306-310,共5页李炜 石艳玲 忻佩胜 朱自强 赖宗声 
国家 973项目<集成微光机电系统研究>(G19990 3 3 10 5 );国家自然科学基金 (698760 12 );国家杰出青年基金(69975 40 9);上海 -应用材料研究与发展基金项目 (0 10 3 );上海市重点科学项目 (0 12 2 610 2 8);上海市重点学科项目 (2 0 0 1年 )的资助
制备了一种低阻硅基厚膜聚酰亚胺上的高性能共面波导传输线 ,并从理论上分析了传输线损耗的成因及其计算方法。聚酰亚胺膜厚 1 1 .5 μm的低阻硅 (0 .5 Ω·cm)上的共面波导传输线在 1 0 GHz下插入损耗为3 .5 d B/cm。然而 ,相同衬底上 ...
关键词：共面波导 插入损耗 聚酰亚胺 损耗特性 大规模集成电路 传输线 
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