共平面波导

作品数：17被引量：29H指数：4
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相关机构：华东师范大学国立中兴大学国立台北科技大学东南大学更多>>
相关期刊：《真空科学与技术学报》《固体电子学研究与进展》《Journal of Semiconductors》《电子与封装》更多>>
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基于SOI的SOH电光调制器设计
《半导体光电》2016年第1期7-12,共6页齐影 安俊明 王玥 张家顺 王亮亮 
国家自然科学基金项目(61274047);国家自然科学基金重点项目(61435013);国家自然科学青年基金项目(61307034;61205044)
设计了一种基于绝缘层上硅(SOI)的推挽式硅-有机物混合(SOH)马赫-曾德干涉型(MZI)电光调制器。利用薄膜模式匹配法对槽波导(slot)的光场分布进行了仿真分析,优化后得到了限制因子为0.32的slot波导结构。采用推挽式马赫-曾德干涉仪结构,...
关键词：SOH 马赫-曾德干涉仪 电光调制器 slot波导 共平面波导行波电极 
一种宽带螺旋天线的设计被引量：2
《电子器件》2015年第4期742-745,共4页朱珊虹 董卫鹏 张琳江 
提出了一种宽带螺旋平面天线的设计。采用共平面波导的方式绕成天线,该方法使得天线和馈电网络在同一平面上,可以利用印刷电路板技术制作。通过软件仿真和实际测试显示:该天线具有良好的圆极化和宽频带特性,在频段2.5 GHz^9 GHz上实测...
关键词：阿基米德螺旋天线 共平面波导 宽带天线 电磁仿真软件 
宽带矩形槽孔天线小型化的研究
《中国科技信息》2008年第20期143-143,145,共2页刘丽琴 
本文所提出的小型化印刷式矩形槽孔天线,其频宽介于2.4GHz～6GHz,符合应用于蓝牙、WLAN、Wi-Fi、Wi-MAX等操作频段的商业规范。此外,藉由调整天线T型辐射件与矩形接地面之几何结构,可激发不同共振模态,如以共平面波导馈入方式,最大频宽...
关键词：共平面波导馈入 槽孔天线 蓝牙 宽带 
基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
《传感技术学报》2008年第6期1020-1024,共5页刘蕾 郭兴龙 欧阳炜霞 赖宗声 
国家自然科学基金资助(60676047);上海-应用材料研究与发展基金项目资助(06SA11)
介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小...
关键词：微机械系统(MEMS) 可调滤波器 共平面波导(CPW)结构 多触点MEMS开关 
深槽技术於CMOS共平面波导与晶片隔绝度之应用
《科儀新知》呂學士(Shey-Shi Lu) 汪濤(Tao Wang) 
本研究将微机电深槽技术应用於CMOS射频积体电路之共平面波导，晶片制作後，将该共平面波导底下之损耗基板，以微机电制程之电感型耦合电浆蚀刻技术移除，并於量测散射参数（S参数）後，由量测数据萃取其传输线等效电路。实验结果显示，...
Si/SiO_2系统电荷对高阻硅基CPW传输损耗的影响被引量：1
《固体电子学研究与进展》2007年第2期221-225,共5页徐钰 石艳玲 沈迪 胡红梅 忻佩胜 朱荣锦 刘赟 蒋菱 
国家自然科学基金(No.60306012);上海市科委启明星计划(04QMX1419);上海应用材料研究与发展基金(0522)等项目资助
通过高频C-V测试得到实验制备的共平面波导(CPW)下方的Si/SiO2系统电荷主要表现为正电荷,其密度约为4.8×1010/cm2。三种不同衬底上50Ω共平面波导分别为直接制备于高阻硅上、高阻硅氧化层上、去除信号线与地线间的高阻硅氧化层上。20GH...
关键词：共平面波导 硅/二氧化硅系统电荷 高阻硅衬底 
带有MU连接器接口的40Gb/s光接收模块封装技术
《电子与封装》2005年第9期17-19,33,共4页罗雁横 张瑞君 
本文介绍了一种带有MU连接器接口的小型化40Gb/s光接收模块封装技术。详细叙述了光接收模块设计中的三个关键技术。实现了阻抗匹配最佳化,改进了电特性。
关键词：光接收模块 焊凸 共平面波导(CPW) 倒装芯片结构 M U连接器 封装 
集成光学 光电集成与器件
《中国光学》2005年第3期45-47,共3页
TN256 2005031940 高压隔离高线性度光电耦合器=High-voltage linear isola- tion optocoupler[刊,中]／张亮(电子科技大学光电信息学 院．四川,成都(610054)),李应辉…∥半导体光电．- 2004,25(4)．-264-267 研制了一种高压隔离高线性...
关键词：半导体 阵列波导光栅 集成技术 共平面波导 藕合 光电子 折射率 有限差分 国家重点实验室 束传播方法 
低阻硅衬底上形成的低损耗共平面波导传输线被引量：1
《红外与毫米波学报》2004年第5期357-359,共3页葛羽屏 郭方敏 王伟明 徐欣 游淑珍 邵丽 于绍欣 朱自强 陆卫 
国家 973集成微光机电系统研究 (G19990 3 3 10 5 ) ;国家自然科学基金 ( 69975 40 9;10 3 740 95 );上海应用材料研究与发展基金项目 ( 0 3 0 6)
在厚膜多孔硅 (PS) /氧化多孔硅 (OPS)衬底上 ,结合聚酰亚胺涂层改善表面 ,研制低损耗、高性能射频 (RF) /微波 (MW)共平面波导CPW(CoplanarWaveguide) .通过在N和P型硅上形成不同厚度PS膜 ,并对其上的CPW进行分析比较 ,厚膜PS与石英的...
关键词：共平面波导 硅衬底 厚膜 插入损耗 传输线 CPW 高阻硅 GH 微波 射频 
接触式串联射频MEMS开关的工艺研究被引量：5
《真空科学与技术学报》2004年第4期306-308,共3页于映 罗仲梓 翁心桥 
国家自然科学基金青年基金资助项目 ( 60 3 0 10 0 6) ;福建省自然科学基金资助项目 (A0 3 10 0 12 )
本文采用MEMS工艺制作接触式串联射频开关 ,射频开关采用双端固定的悬臂梁结构 ,悬梁为PECVD制作的SiN薄膜 ,溅射Au制作共平面波导 ,聚酰亚胺作为牺牲层 ,运用等离子体刻蚀法释放牺牲层。研究了悬梁、共平面波导以及电极的制作工艺 ,并...
关键词：共平面波导 牺牲层 刻蚀工艺 射频开关 MEMS开关 接触式 PECVD 串联 开关结构 电极 
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