翁心桥

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：福州大学电子科学与应用物理系更多>>
发文主题：MEMS开关PECVD共平面波导刻蚀工艺射频开关更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程化学工程更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金福建省自然科学基金福建省重点科技计划项目更多>>
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Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2005年第z1期112-114,共3页于映 赵晨 罗仲梓 翁心桥 
国家自然科学基金(No.60301006)和福建省重点科技项目(No.2005H029)资助
本文采用氯苯浸泡法对(0.2～2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2.0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥离出8.0 μm的缝隙.
关键词：溅射薄膜 剥离 氯苯浸泡法 
接触式串联射频MEMS开关的工艺研究被引量：5
《真空科学与技术学报》2004年第4期306-308,共3页于映 罗仲梓 翁心桥 
国家自然科学基金青年基金资助项目 ( 60 3 0 10 0 6) ;福建省自然科学基金资助项目 (A0 3 10 0 12 )
本文采用MEMS工艺制作接触式串联射频开关 ,射频开关采用双端固定的悬臂梁结构 ,悬梁为PECVD制作的SiN薄膜 ,溅射Au制作共平面波导 ,聚酰亚胺作为牺牲层 ,运用等离子体刻蚀法释放牺牲层。研究了悬梁、共平面波导以及电极的制作工艺 ,并...
关键词：共平面波导 牺牲层 刻蚀工艺 射频开关 MEMS开关 接触式 PECVD 串联 开关结构 电极 
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