教育部科学技术研究重点项目(101-050502)

作品数：3被引量：17H指数：3
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类金刚石薄膜的激光损伤特性及工艺优化被引量：5
《光电工程》2008年第12期45-49,共5页徐均琪 樊慧庆 刘卫国 苏俊宏 
教育部重点科技项目(101-050502);西安市科技创新支撑计划(YF07051)
采用脉冲真空电弧沉积(PVAD)技术制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对其抗激光损伤特性进行了研究,优化了制备工艺。对DLC薄膜激光损伤阈值(LIDT)的测试结果表明,随着厚度的增加,薄膜的LIDT开始呈下降趋势,当厚度达到100nm以上时,则趋于一个...
关键词：类金刚石(DLC) 脉冲真空电弧沉积(PVAD) 激光损伤阈值(LIDT) 工艺优化 
宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究被引量：6
《光电工程》2008年第6期23-27,53,共6页徐均琪 弥谦 杭凌侠 严一心 董网妮 
教育部重点科技项目(101-050502);陕西省教育厅专项科研计划项目(05JK222);陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室基金项目(ZSKJ200401)
介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的新型宽束冷阴极离子源，详细叙述了该源的结构和工作过程。采用五栅网离子能量测试装置研究了离子源的离子能量及能量分布。结果表明，探针接收的离子最低能量随着引出电压和真空度的升高而升高...
关键词：离子能量 能量分布 离子源 离子束辅助沉积(IBAD) 薄膜 
宽束冷阴极离子源的工作特性研究被引量：6
《真空科学与技术学报》2008年第3期266-270,共5页徐均琪 杭凌侠 弥谦 严一心 董网妮 
教育部重点科技项目(No.101-050502);陕西省基金项目(No.05JK222);陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室基金(No.ZSKJ200401)
介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的改进的宽束冷阴极离子源,详细叙述了该源的工作原理和放电过程,并对离子源的工作特性进行了研究。结果表明,这种离子源可以在4.5×10-3Pa的高真空度下长期稳定工作,在4.5×10-3Pa^9.7×10-3Pa的...
关键词：离子源 离子束辅助沉积(IBAD) 离子束流密度 离子能量 电子中和器 
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