吉林省科技发展计划基金(20050319)

作品数：5被引量：3H指数：1
导出分析报告
相关作者：陈维友董玮贾翠萍周敬然刘彩霞更多>>
相关机构：吉林大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
相关期刊：《Journal of Semiconductors》《传感技术学报》《半导体技术》《半导体光电》更多>>
相关主题：微反射镜光开关阵列阵列光开关光开关微光电子机械系统更多>>
相关领域：电子电信更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
阵列光开关驱动结构制作工艺的研究
《半导体光电》2007年第3期361-362,366,共3页贾翠萍 董玮 仲志成 周敬然 李元元 陈维友 
吉林省科技发展计划项目(20050319)
采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极。腐蚀表面的不平整影响了光开关的驱动扭臂结构的制作。采用合理配比的HF,HNO3和CH3COOH腐蚀剂对制作的微反射镜阵列硅片进行抛光处理,抛光后微反射镜表面和腐蚀的(110)面均有较大...
关键词：光开关 KOH腐蚀 微反射镜 扭臂 
光子射频移相器研究与进展被引量：1
《半导体技术》2007年第4期281-283,296,共4页马文英 董玮 刘彩霞 张歆东 贾翠萍 周敬然 陈维友 
吉林省科技发展计划项目(20050319)
光子射频移相器是光控相控阵的关键器件,近几年引起了广泛的关注。介绍了基于光实时延迟线、基于外差混频技术和基于矢量和技术的光子射频移相器,对其工作原理和技术特点作了分析。集成光学技术的发展将推动光子射频移相器向集成化、微...
关键词：光子射频移相器 光实时延迟线 外差混频技术 矢量和技术 
8×8 MEMS光开关阵列的制作
《Journal of Semiconductors》2006年第z1期343-346,共4页贾翠萍 董玮 周敬然 刘彩霞 臧会东 玄伟 徐宝琨 陈维友 
吉林省科技发展计划资助项目(批准号:20050319)
采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开...
关键词：光开关 (110)硅片 微反射镜 开关时间 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部