国家自然科学基金(91023022)

作品数：6被引量：37H指数：4
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基于白光干涉彩色图像的微结构表面形貌测量被引量：15
《光学学报》2014年第2期120-126,共7页郭彤 李峰 倪连峰 陈津平 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金(91023022);科技部国际合作与交流项目(2008DFA71610)
微结构的表面形貌会显著地影响微纳器件的使用性能及产品质量,是微纳测试领域的一个重要研究方面,利用白光干涉技术是测量物体表面形貌的一种常见方法。区别于常用的CCD黑白相机,使用CCD彩色相机采集白光干涉条纹的彩色图像,使获取的图...
关键词：测量 白光干涉 表面形貌 彩色图像 小波变换 微结构 
采用变速白光扫描干涉术测量大尺度台阶结构被引量：4
《光电子．激光》2012年第8期1529-1534,共6页郭彤 章英 李峰 陈津平 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金(91023022);质检公益性行业科研专项(201110051)资助项目
针对传统白光扫描干涉术在对一些垂直尺度较大器件的测试中,存在测量时间长、信号利用率低等问题,本文提出了应用于白光扫描干涉测量的变速扫描策略,并开发了基于预定义模式的变速扫描和基于自动对焦模式的变速扫描两种具体的实现方式...
关键词：白光干涉术 大尺度台阶 变速扫描 纳米测量机(NMM) 自动对焦 
基于双反馈模式的大范围自感应AFM测量系统被引量：1
《计量学报》2012年第5期385-390,共6页郭彤 王思明 王龙龙 陈津平 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金项目（91023022）;国家科技支撑计划项目（2011BAK15802）
为了提高原子力显微镜（AFM）的测量范围，设计了一种基于双反馈测量模式的大范围自感应原子力显微镜系统，测量系统中有两条反馈回路：一条反馈回路由压电陶瓷与AFM测头组成，动态响应较快的压电陶瓷位移台的运动量可以表征被测样品表...
关键词：计量学 原子力显微镜测头 双反馈测量模式 压电陶瓷台 纳米定位平台 
基于白光扫描干涉术的厚膜几何参数测量被引量：6
《光电子．激光》2011年第9期1380-1383,共4页郭彤 王瑞杰 马龙 陈津平 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(91023022);天津市自然科学基金资助项目(09JCYBJC05300);质检公益性行业科研专项资助项目(201110051)
提出了一种结合白光扫描干涉术与图像分割技术的薄膜自动测量方法,可以同时得到薄膜的上下表面形貌以及厚度等几何参数。测试系统集成了Mirau干涉物镜,通过高精度纳米定位器带动物镜实现垂直扫描。当薄膜厚度足够时,扫描所得信号会含有...
关键词：白光扫描干涉术 OTSU方法 阈值 表面形貌 标准膜厚 
基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征被引量：8
《纳米技术与精密工程》2011年第1期39-43,共5页马龙 郭彤 赵健 徐临燕 陈津平 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(91023022);科技部国际科技合作与交流资助项目(2008DFA71610);天津市自然科学基金资助项目(09JCYBJC05300)
将Carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合形成了一种白光等步长相移算法,该方法快速、准确、非接触,垂直分辨力可达亚纳米级.测量系统集成了Mirau显微干涉物镜,并通过高精度压电陶瓷纳米定位器带动物镜进行垂直扫描.分析了Carré法应...
关键词：微机电系统(MEMS) 白光相移干涉 Carré相移算法 标准台阶 
基于白光倾斜扫描干涉术的微结构测量方法被引量：4
《光电子．激光》2011年第1期91-94,共4页马龙 郭彤 赵健 陈津平 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(91023022);科技部国际科技合作与交流项目(2008DFA71610);天津市自然科学基金项目(09JCYBJC05300)
针对白光垂直扫描干涉技术由于测试系统中物镜视场和移相器的行程限制,使其不能进行较大横向范围的测试。本文使用白光倾斜扫描干涉术代替垂直扫描,以扩展其横向测量范围,提高测试效率。基于纳米测量机(NMM)搭建了测试系统,由NMM代替传...
关键词：微结构 白光干涉技术 倾斜扫描 大范围 纳米测量机(NMM) 
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