国家高技术研究发展计划(2006AA04Z326)

作品数:2被引量:8H指数:2
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通过可动触点延长接触时间的新型微冲击开关被引量:5
《振动与冲击》2009年第7期147-152,共6页蔡豪刚 丁桂甫 杨卓青 周镇威 汪红 
国家自然科学基金(50675139);863计划(2006AA04Z308,2006AA04Z326)
基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进...
关键词:微冲击开关 微机电系统 可动触点 接触时间 
用于MEMS惯性开关的微弹簧有限元动力学分析被引量:3
《机械强度》2008年第4期586-589,共4页杨卓青 丁桂甫 蔡豪刚 付世 赵小林 
国家863资助项目(2006AA04Z308,2006AA04Z326)~~
设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS(micro-electro-mechanical system)惯性开关,应用ANSYS10.0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进行实体建模和动力学模拟分析,得到其在动载荷下的应力分布情况和端部位移响应曲线,并比较静动载荷下...
关键词:微机电系统(micro-electro-mechanical system MEMS) 惯性开关 有限元 动力学 弹性系数 
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