国家自然科学基金(50271053)

作品数：5被引量：47H指数：4
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相关作者：徐可为马胜利介万奇马大衍马青松更多>>
相关机构：西安交通大学西北工业大学中国科学院慕尼黑工业大学更多>>
相关期刊：《真空科学与技术学报》《摩擦学学报（中英文）》《稀有金属材料与工程》更多>>
相关主题：PCVD硬质薄膜TIN薄膜结合力摩擦磨损性能更多>>
相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
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纳米复合Ti-B-N薄膜的结构和摩擦学性能被引量：4
《稀有金属材料与工程》2005年第10期1597-1600,共4页马大衍 马胜利 徐可为 刘维民 S.Veprek 
国家"863"高技术项目(2001AA338010);国家自然科学基金(50271053);欧盟第5框架计划项目(GRD2001-40419);中科院兰州化物所固体润滑国家重点项目(200101)
研究了射频等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术获得的Ti-B-N薄膜的组织结构和力学性能。结果发现,B元素的加入使薄膜中出现TiN纳米晶和BN非晶(nc-TiN/a-BN)的复合结构,其硬度显著高于TiN薄膜,最高可达40GPa。用球盘式摩擦磨损实验考察...
关键词：PCVD Ti-B-N薄膜 硬度 耐磨性 
脉冲直流PCVD技术在盲孔底部沉积Ti-Si-N薄膜被引量：5
《稀有金属材料与工程》2005年第5期738-741,共4页马青松 马胜利 徐可为 
国家"863"高技术项目(2001AA338010);国家自然科学基金项目(50271053);教育部博士点基金项目(20020698016)
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术在盲孔的底部获得Ti-Si-N薄膜。用扫描电子显微镜(SEM),X射线能量色散谱仪(EDX),X射线衍射仪(XRD),球痕法(ball-crater),显微硬度计(Hv)和涂层压入仪(Pc)分析不同盲孔深度处薄膜的微观结...
关键词：咏冲直流PCVD Ti—Si—N 复杂型腔 
PCVD在狭缝内壁沉积Ti-Si-N薄膜的研究被引量：2
《真空科学与技术学报》2004年第4期293-295,298,共4页马青松 马胜利 徐可为 
国家 8 63高技术项目 (No .2 0 0 1AA3 3 80 10 ) ;国家自然科学基金项目 (No .5 0 2 710 5 3 ) ;教育部博士点基金项目 (No .2 0 0 2 0 6980 16)
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积 (PCVD)设备在狭缝的侧壁上沉积Ti Si N薄膜。经微观物相分析发现 ,在狭缝的侧壁上随着测试深度的增加 ,薄膜中Ti元素逐渐减少 ,Si含量增加 ,薄膜的相组成始终为nc TiN/Si3 N4。利用球痕法测定了各...
关键词：薄膜厚度 狭缝 等离子体辅助化学 脉冲 沉积 物相分析 元素 PCVD 显微硬度仪 相组成 
脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究被引量：24
《摩擦学学报》2003年第3期179-182,共4页马胜利 马大衍 王昕 徐可为 介万奇 
:国家863计划资助项目(2001AA883010);国家自然科学基金资助项目(50271053).
对比研究了脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜的摩擦磨损特性,用扫描电子显微镜、X射线衍射仪及销-盘摩擦磨损试验机分析薄膜形貌和结合力,考察了不同沉积条件下2种薄膜的摩擦磨损过程及其影响因素.结果表明,TiCN薄膜具有...
关键词：硬质薄膜 PCVD 结合力 摩擦磨损性能 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积 TIN薄膜 TiCN薄膜 
气相沉积制备硬质薄膜技术与应用述评被引量：13
《真空科学与技术》2002年第6期438-443,共6页马胜利 徐可为 介万奇 
国家 8 63计划 (2 0 0 1AA883 0 10 );国家自然科学基金项目 (5 0 2 710 5 3 )
本文对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评 ,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积 (PCVD)的优势。
关键词：制备 气相沉积技术 硬质薄膜 PCVD 等离子体辅助化学气相沉积 
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