国防科技重点实验室基金(9140C7903080807)

作品数：2被引量：1H指数：1
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非硅MEMS电容式微加速度计的测控电路设计
《传感器与微系统》2012年第2期90-92,95,共4页张运奎 崔峰 万镇 刘武 张卫平 
国防科技重点实验室基金资助项目(9140C7903080807);上海市自然科学基金资助项目(10ZR1415500);国家自然科学基金资助项目(51075278)
为了提高MEMS微加速度计的量程和抗过载能力,设计了基于UV-LIGA技术的非硅MEMS电容式微加速度计。针对该加速度计,设计了基于相敏解调的差分电容测控电路。检测通道主要由前置级电荷积分放大电路、带通滤波电路、相敏解调器、低通滤波...
关键词：微机电系统 微加速度计 差分电容 测控电路 标定 
静电悬浮微陀螺多路同步DDS信号发生器设计被引量：1
《现代电子技术》2010年第18期110-113,共4页覃贞妮 刘武 陈文元 崔峰 张卫平 
国防科技重点实验室基金(9140C7903080807);教育部博士点新教师基金(200802481026)
信号发生器是静电悬浮微陀螺系统的重要组成部分,通常采用差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移,而转子微位移信号的幅值解调需要稳定的多路同步信号。采用ARM7 LPC2148为控制器和多片DDS芯片AD9850在硬件和软件上实现多路同步DD...
关键词：信号发生器 DDS 同步 并行加载 串行加载 
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