国家自然科学基金(60227102)

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用透表法研究硅化钯二极管SBD与EBIC法的比较
《电子显微学报》2006年第B08期142-143,共2页胡问国 肖玲 林一平 梁竹关 李亚文 李萍 徐晓华 王建 周开邻 Rau E I 
国家自然科学基金NSFC资助项目(No.60227102);国家科学技术部973前期项目资助
关键词：肖特基势垒二极管 IC法 硅化 SBD 无损检测方法 钯 结特性 P型硅 
应用透表法透过Si_3N_4+SiO_2钝化层内窥透视成品IC的研究
《电子显微学报》2006年第B08期183-183,共1页胡问国 肖玲 林一平 梁竹关 李亚文 李萍 兰得春 王建 周开邻 Rau E I 
国家自然科学基金资助项目(No.60227102);国家科学技术部973前期项目资助
关键词：钝化层 成品 内窥 IC 应用 集成电路 微结构 
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