陕西省教育厅科研计划项目(05JK222)

作品数：2被引量：6H指数：1
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宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究被引量：6
《光电工程》2008年第6期23-27,53,共6页徐均琪 弥谦 杭凌侠 严一心 董网妮 
教育部重点科技项目(101-050502);陕西省教育厅专项科研计划项目(05JK222);陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室基金项目(ZSKJ200401)
介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的新型宽束冷阴极离子源，详细叙述了该源的结构和工作过程。采用五栅网离子能量测试装置研究了离子源的离子能量及能量分布。结果表明，探针接收的离子最低能量随着引出电压和真空度的升高而升高...
关键词：离子能量 能量分布 离子源 离子束辅助沉积(IBAD) 薄膜 
瞬时相移干涉测量方法的仿真
《西安工业大学学报》2008年第1期6-9,共4页刘丙才 田爱玲 王红军 
陕西省教育厅产业化项目(05JC17);陕西省教育厅项目(05JK222)
为了消除相移干涉测量中的环境振动和空气扰动的影响,提出了一种瞬时相移干涉测量方案.在泰曼格林干涉仪的基础上,利用二维正弦光栅的频谱特性,选取其(±1,±1)级衍射光作测量分光光路,使之通过一个偏振移相阵列,从而形成相位差分别为0,...
关键词：二维正弦光栅 瞬时相移 抗振技术 仿真 
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