云南省自然科学基金(2002E0009M)

作品数：2被引量：5H指数：1
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相关主题：红外探测材料溅射制备离子束溅射离子束红外吸收更多>>
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离子束溅射制备Si／Ge多层膜研究
《中国材料科技与设备》2006年第2期55-57,共3页刘焕林 郝瑞亭 陈刚 杨宇 
云南省自然科学基金资助项目（2002E0009M）
采用离子束溅射方法在Si衬底上制备Si／Ge多层膜，通过改变生长温度、溅射速率等因素得到一系列Si／Ge多层膜样品；通过X射线衍射、Raman散射等表征方法研究薄膜结构与生长条件的关系。在小束流（10mA）、室温条件下制备出界面清晰、周...
关键词：Si/Ge多层膜 离子束溅射 红外探测材料 
离子束溅射制备Si/Ge多层膜及红外吸收性能研究被引量：5
《人工晶体学报》2006年第2期280-284,共5页刘焕林 郝瑞亭 杨宇 
云南省自然科学基金资助项目(No.2002E0009M)
采用离子束溅射方法在S i衬底上制备S i/Ge多层膜。通过改变生长温度、溅射速率等因素得到一系列S i/Ge多层膜样品。通过X射线衍射、拉曼散射、原子力显微分析(AFM)等表征方法研究薄膜结构与生长条件的关系。在小束流(10mA)、室温条件...
关键词：Si/Ge多层膜 离子束溅射 红外探测材料 
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