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国家自然科学基金(60838005): 作品数：10被引量：14H指数：3; 导出分析报告; 相关作者：王骐赵永蓬李琦徐强张兴强更多>>; 相关机构：哈尔滨工业大学湖北汽车工业学院东北林业大学北京应用物理与计算数学研究所更多>>; 相关期刊：《红外与激光工程》《Chinese Optics Letters》《核聚变与等离子体物理》《中国激光》更多>>; 相关主题：极紫外光刻毛细管放电XE等离子体Z箍缩更多>>; 相关领域：电子电信理学机械工程核科学技术更多>>

13.5 nm放电Xe等离子体极紫外光源被引量：4: 《中国激光》2018年第11期1-10,共10页赵永蓬徐强李琦王骐; 国家自然科学基金重点项目(60838005);国家科技02重大专项子课题(2008ZX02501-001); 搭建了极紫外光源实验装置,获得了中心波长为13.5 nm的Xe等离子体极紫外的辐射光谱。测量了极紫外辐射的时间特性,用多次箍缩理论解释了光脉冲的多峰结构。获得了主脉冲电流幅值、Xe气流量、陶瓷管内径、等离子体长度、辅助气体等实验...; 关键词：X射线光学极紫外光源放电等离子体 XE 极紫外光刻

强流离子束流聚焦状态的数值模拟: 《核聚变与等离子体物理》2015年第3期284-288,共5页张凤娟张潮海; 国家自然科学基金(60838005); 结合空间电荷透镜的原理图以及离子束流的磁流体运动方程对离子束流聚焦状态进行了理论研究。采用层流非碰撞模型数值计算了离子束流不同初始半径以及不同入射角的束流出射角、焦距以及最小焦斑半径。理论分析了能散度、色散像差等因素...; 关键词：出射角焦距最小焦斑半径束流最大半径

毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响: 《红外与激光工程》2014年第9期2873-2877,共5页徐强赵永蓬李小强李琦王骐; 国家自然科学基金(60838005);国家科技重大专项(2008ZX02501); 极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极...; 关键词：毛细管放电极紫外光刻光源 Xe等离子体 13.5nm辐射 Z箍缩

Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究被引量：3: 《物理学报》2013年第24期215-221,共7页赵永蓬徐强肖德龙丁宁谢耀李琦王骐; 国家自然科学基金(批准号:60838005);国家科技重大专项(批准号:2008ZX02501)资助的课题~~; 理论和实验上研究了Xe介质毛细管放电极紫外光源等离子体时间特性和最佳条件.从理论上建立了Xe介质一维辐射磁流体力学模型,模拟了不同气压和电流条件下等离子体压缩和辐射特性;实验上测量了放电电流30 kA时不同气压条件下13.5 nm(2%带...; 关键词：极紫外光刻光源毛细管放电磁流体力学 Xe等离子体

等离子体尺寸对放电极紫外光源影响被引量：4: 《强激光与粒子束》2013年第10期2631-2635,共5页赵永蓬徐强李琦王骐; 国家自然科学基金重点项目(60838005);国家科技重大专项(2008ZX02501); 计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2...; 关键词：极紫外光刻光源毛细管放电 Xe等离子体 13 5 nm辐射 Z箍缩

Ar气气压对毛细管放电软X光激光输出的影响: 《现代物理》2013年第1期22-26,共5页张兴强王骐; 国家自然科学基金重点项目(60838005);哈尔滨工业大学创新团队资助。; Ar气气压是毛细管放电软X光激光研究中的关键参量,其对激光的产生机理和输出等发挥重要的作用。本文通过系统地研究Ar气气压对激光输出的影响,发现当Ar气气压从38 Pa升高到65 Pa时,激光信号的最大输出值确实从~17 V提高到~18.4 V。但前...; 关键词：激光技术毛细管放电软X光激光激光输出 Ar气气压

毛细管放电氩等离子体的电离价研究被引量：1: 《现代物理》2013年第1期27-31,共5页张兴强王骐; 国家自然科学基金重点项目(60838005);哈尔滨工业大学创新团队资助。; 毛细管放电软X射线激光或极紫外光刻光源研究中等离子体的电离价是一个重要的参量,它决定光源的波长。依据毛细管放电的特点以及参考文献中提供的数据推导出毛细管放电氩等离子体电离价的经验公式。利用国内首台毛细管放电极紫外光刻光...; 关键词：极紫外光刻光源毛细管放电氩离子光谱 Ar等离子体电离价

Optical design for EUV lithography source collector被引量：2: 《Chinese Optics Letters》2011年第5期66-69,共4页张树青王骐祝东远李润顺刘畅; supported by the State Key Program ofthe National Natural Science of China (No. 60838005);the Major National Science and Technology SpecialProjects (No. 2008ZX02501); Wolter I collector is the best collector for extreme ultraviolet （EUV） lithography, which has a series of nested mirrors. It has high collection efficiency and can obtain more uniform intensity distribution at the i...; 关键词：Extreme ultraviolet lithography Optical design

毛细管放电EUVL光源演示装置被引量：1: 《湖北汽车工业学院学报》2010年第2期46-50,共5页张兴强王骐; 国家自然科学基金重点课题(60838005);哈尔滨工业大学创新团队资助项目; 极紫外光刻(EUVL)技术能突破30 nm技术节点、可应用于大规模工业生产,是下一代光刻技术的核心之一。极紫外(EUV)光源是EUVL的源头,寻找可满足EUVL的合适光源是解决问题的关键,世界上许多发达国家都在积极探索EUVL光源的研究。属于4种气...; 关键词：极紫外光源极紫外光刻毛细管放电

放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源被引量：3: 《强激光与粒子束》2010年第2期388-392,共5页吕鹏刘春芳张潮海赵永蓬王骐贾兴; 国家自然科学基金项目(60838005); 描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源...; 关键词：Z箍缩放电等离子体极紫外光源主脉冲磁脉冲压缩

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