国家科技重大专项(2009ZX2205)

作品数：2被引量：10H指数：1
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相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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前馈控制算法校正相移微动台非线性运动被引量：10
《电子测量与仪器学报》2014年第8期879-884,共6页张春雷 刘健 王绍治 史振广 代雷 彭利荣 向阳 
02国家科技重大专项(2009ZX2205)资助课题
压电陶瓷具有推力大,响应速度快,分辨率高和能耗低等优点,但其形变量小,所以需要位移放大机构对其形变量进行放大,实现长行程高分辨率位移。针对压电陶瓷作为驱动器,柔性铰链位移放大装置作为导向机构的相移微动台运动存在非线性问题,...
关键词：压电陶瓷 柔性铰链 位移放大机构 非线性运动校正 相移误差 
基于逆补偿复合控制的抛光液供给系统设计
《电子测量与仪器学报》2013年第4期366-371,共6页尹志生 郑楠 于淼 彭吉 闫丰 
国家重大专项02专题(2009ZX2205)资助项目
根据磨料水射流抛光加工工艺要求,设计了一套以比例阀和溢流阀为流量调节元件的抛光液供给系统。但由于溢流阀在调节过程中的正反行程工作曲线不重合,导致系统存在较大的迟滞及非线性。针对这一情况,采用了前馈逆补偿及PID反馈的复合控...
关键词：逆补偿 复合控制 抛光液供给 
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