国家自然科学基金(51005240)

作品数：5被引量：10H指数：2
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相关作者：谢立强邢建春吴学忠董培涛王浩旭更多>>
相关机构：解放军理工大学国防科学技术大学更多>>
相关期刊：《物理学报》《光学精密工程》《Chinese Journal of Mechanical Engineering》《计算机测量与控制》更多>>
相关主题：石英微结构后结构ZCROSS更多>>
相关领域：电子电信建筑科学自动化与计算机技术更多>>
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可实现防碰撞通信的新型声表面波温度传感器被引量：1
《计算机测量与控制》2015年第8期2785-2788,共4页康帅 李决龙 邢建春 谢立强 刘玮峰 
国家自然科学基金(51005240)
针对多声表面波传感器系统中各传感器信息读取时会产生通信碰撞的问题,提出了一种可实现防碰撞通信的新型声表面波温度传感器;通过分析声表面波温度传感器的回波脉冲信号,将沃尔什码作为编码内容实现了多声表面波温度传感器系统中各传...
关键词：无源无线 声表面波 温度传感器 防碰撞 
石英微陀螺的驱动控制方法研究被引量：1
《兵工学报》2013年第6期770-775,共6页谢立强 邢建春 董培涛 吴学忠 
国家自然科学基金项目(51005240)
基于相位控制技术设计了石英微陀螺驱动轴的谐振环路,使其产生驱动模态振动。通过提取系统信号幅值的方法,设计了基于速度幅值的控制器,使微陀螺驱动轴的振动幅值保持恒定。建立了Matlab Simulink模型,仿真结果与所设计的谐振环路和幅...
关键词：信息处理技术 石英微陀螺 驱动控制 谐振 
各向异性湿法刻蚀z切石英后结构侧壁形貌的预测被引量：6
《光学精密工程》2012年第2期352-359,共8页谢立强 邢建春 王浩旭 董培涛 吴学忠 
国家自然科学基金资助项目(No.51005240);中国博士后科学基金资助项目(No.20090461481)
基于石英晶体各晶面的湿法刻蚀速率,研究了石英微结构侧壁形貌的预测方法,讨论了各向异性湿法刻蚀石英的规律。首先,总结了石英各主要晶面的相对刻蚀速率,分别绘制了x、y族刻蚀速率矢量图。然后,在掩模层的边缘处,通过绘制相应的晶面刻...
关键词：z切石英 微结构 各向异性湿法刻蚀 形貌预测 
Design and Characterization of a Novel Z-axis Quartz Cross-fork Micromachined Gyroscope被引量：2
《Chinese Journal of Mechanical Engineering》2011年第1期50-57,共8页XIE Liqiang WU Xuezhong LI Shengyi WANG Haoxu TAO Yi DONG Peitao 
supported by National Natural Science Foundation of China(Grant No.51005240)
The existing researches on quartz gyroscope mainly focus on the structure design of the tuning fork, which aim at obtaining a better vibration characterization. However, the fabrication of complicated structure is a c...
关键词：quartz gyroscope cross-fork dynamic analysis Coriolis’ force 
基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究
《物理学报》2010年第10期6896-6901,共6页谢立强 吴学忠 李圣怡 王浩旭 董培涛 
国家自然科学基金重点项目(批准号:51005240)资助的课题~~
为了简化石英陀螺结构侧壁上的电极图形,设计了一种基于剪应力检测Coriolis力的新型石英微结构.通过对剪应力检测方案的分析,微结构侧壁电极的极性单一,采用锥度为15°的锥形梁结构作为敏感梁的设计可以增大敏感梁的检测灵敏度.通过各...
关键词：石英陀螺 剪应力检测 CORIOLIS力 
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