王浩旭

作品数：4被引量：14H指数：3
导出分析报告
供职机构：国防科学技术大学更多>>
发文主题：金属纳米石英金属陀螺兼容性更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术理学更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于多分辨率分析的硅微陀螺随机漂移时间序列建模被引量：3
《传感技术学报》2012年第8期1107-1111,共5页满海鸥 龙书林 肖定邦 吴学忠 王浩旭 
针对硅微陀螺的随机漂移误差,根据多尺度分析理论,提出了随机漂移趋势项提取算法,并应用于时间序列分析,采用波克斯-詹金斯法建立了ARMA模型。进一步采用长自回归-白噪化建模方法对模型进行了辨识和适用性检验。最后,构造Kalman滤波器对...
关键词：多分辨率分析 时间序列 ARMA模型 KALMAN滤波 
各向异性湿法刻蚀z切石英后结构侧壁形貌的预测被引量：6
《光学精密工程》2012年第2期352-359,共8页谢立强 邢建春 王浩旭 董培涛 吴学忠 
国家自然科学基金资助项目(No.51005240);中国博士后科学基金资助项目(No.20090461481)
基于石英晶体各晶面的湿法刻蚀速率,研究了石英微结构侧壁形貌的预测方法,讨论了各向异性湿法刻蚀石英的规律。首先,总结了石英各主要晶面的相对刻蚀速率,分别绘制了x、y族刻蚀速率矢量图。然后,在掩模层的边缘处,通过绘制相应的晶面刻...
关键词：z切石英 微结构 各向异性湿法刻蚀 形貌预测 
基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究
《物理学报》2010年第10期6896-6901,共6页谢立强 吴学忠 李圣怡 王浩旭 董培涛 
国家自然科学基金重点项目(批准号:51005240)资助的课题~~
为了简化石英陀螺结构侧壁上的电极图形,设计了一种基于剪应力检测Coriolis力的新型石英微结构.通过对剪应力检测方案的分析,微结构侧壁电极的极性单一,采用锥度为15°的锥形梁结构作为敏感梁的设计可以增大敏感梁的检测灵敏度.通过各...
关键词：石英陀螺 剪应力检测 CORIOLIS力 
石英湿法腐蚀及侧壁晶棱修平工艺研究被引量：7
《传感技术学报》2009年第12期1713-1716,共4页王浩旭 谢立强 吴学忠 李圣怡 
国家自然科学基金资助项目资助(50375154)
以石英陀螺的微结构为研究对象,对石英的湿法腐蚀规律进行研究。选用500μm厚Z切向石英片,蒸镀10nm厚Cr膜和200nm厚金膜作为掩模层,选用40%氢氟酸和40%氟化铵的1:1混合溶液作为腐蚀液。通过在不同温度下的腐蚀试验,表明腐蚀速率随温度...
关键词：石英 湿法腐蚀 侧壁晶棱 修平工艺 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部