国家重点基础研究发展计划(2006CB00403)

作品数：1被引量：1H指数：1
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基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1705-1708,共4页赵全斌 焦继伟 杨恒 林梓鑫 李铁 张颖 王跃林 
973项目资助(2006CB00403)
我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原...
关键词：双端固支硅纳米梁 压阻检测 Ar离子轰击 谐振特性 
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