北京市科委项目(GYYKW0507009)

作品数：2被引量：9H指数：2
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硅玻璃阳极键合绝压压阻式压力传感器中的残余应力被引量：6
《功能材料与器件学报》2008年第2期452-456,共5页许东华 张兆华 林惠旺 刘理天 任天令 
国家863项目(No.2006AA04Z372);北京市科委项目(No.GYYKW0507009)
硅玻璃阳极键合技术因键合强度高,工艺简单而成为低成本绝压压力传感器的主要封装技术。但由于常规的硅玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行且材料之间不可避免的热膨胀系数失配将产生较大的残余应力。实验采用有限元方法对硅玻璃...
关键词：硅-玻璃 阳极键合 压力传感器 残余应力 
压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究被引量：3
《微纳电子技术》2007年第7期188-191,共4页许东华 林惠旺 张兆华 谭智敏 刘理天 
浙江省科技攻关重大专项支持(2005C11015);北京市科委项目(GYYKW0507009)
零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它...
关键词：压阻式 压力传感器 零点输出 零点温漂 
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