江苏省高技术研究计划项目(BG2007006)

作品数：1被引量：6H指数：1
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超薄栅氧化层等离子体损伤的工艺监测被引量：6
《电子学报》2009年第5期947-950,956,共5页赵文彬 李蕾蕾 于宗光 
江苏省高技术研究项目(No.BG2007006)
随着集成电路向深亚微米、纳米技术发展,等离子体充电对制造工艺造成的影响,尤其对超薄隧道氧化层的损伤越来越显著.本文分析了等离子体工艺损伤机理以及天线效应,设计了带有多晶、孔、金属等层次天线监测结构的电容和器件,并有不同的...
关键词：栅氧化层 等离子体损伤 天线结构 工艺监测 
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