国家科技重大专项(2012ZX02702001-002)

作品数：7被引量：30H指数：3
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相关作者：李艳秋曹振孙圆圆刘菲梅秋丽更多>>
相关机构：北京理工大学北京航天计量测试技术研究所中国科学院更多>>
相关期刊：《光学学报》《激光与光电子学进展》《光学技术》更多>>
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组合倍率极紫外光刻物镜系统梯度膜设计方法被引量：2
《光学学报》2020年第5期164-171,共8页刘陌 李艳秋 
国家科技重大专项(2012ZX02702001-002)。
随着极紫外(EUV)光刻物镜的设计朝着组合倍率物镜系统的方向发展,物镜系统需要同时具有大视场和高数值孔径(NA),因而产生了物镜的光线入射角及入射角范围急剧增大的问题,需要研究适用于组合倍率极紫外光刻物镜系统的膜层设计的新方法。...
关键词：光学设计 薄膜 组合倍率 极紫外光刻 
16 nm极紫外光刻物镜热变形对成像性能影响的研究被引量：8
《光学学报》2019年第1期427-434,共8页李艳秋 刘岩 刘丽辉 
国家科技重大专项(2012ZX02702001-002)
16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据,对数值孔径为0.33且满足16 nm技术节点的典型EUVL物镜进行热变形仿真研究。采用有限元软件ANSYS仿真曝光过程中反射镜的瞬...
关键词：光学设计 热变形 极紫外光刻 有限元分析 反射系统 成像性能 
像质补偿在高分辨物镜精密装调中的应用
《光学技术》2018年第1期117-122,共6页季振波 刘克 李艳秋 章明 
国家科技重大专项项目(2012ZX02702001-002);国家自然科学基金青年科学基金项目(61205164)
根据高分辨物镜各个光学元件的实测数据,应用轴向补偿和旋转补偿法,在仿真精密装调过程中得到了物镜轴向补偿器的最优值和各元件的最佳旋转角度。仿真结果表明,在97.7%的置信区间内,物镜各视场波像差RMS值从补偿前的0.087λ（λ=632.8n...
关键词：高分辨成像 精密装调 轴向补偿 旋转补偿 
超大数值孔径极紫外光刻物镜的公差分析被引量：3
《激光与光电子学进展》2015年第12期215-221,共7页孙圆圆 李艳秋 曹振 
国家科技重大专项(2012ZX02702001-002)
超大数值孔径极紫外光刻物镜(NA>0.45)能够满足11 nm光刻技术节点的需求,而高分辨率成像对物镜系统的公差要求非常严格。针对一套数值孔径为0.50的极紫外投影物镜进行了补偿器选择和制造公差分析。通过对系统敏感元件结构参量构成的灵...
关键词：光学设计 公差分析 奇异值分解 极紫外光刻 
极紫外光刻物镜补偿器的选择及定位精度分析被引量：3
《光学学报》2015年第12期142-148,共7页曹振 李艳秋 孙圆圆 
国家科技重大专项(2012ZX02702001-002)
极紫外(EUV)光刻物镜设计不仅要在系统优化阶段尽可能减小残余像差,还必须选择像质补偿器合理分配各项公差,从而在保证系统可制造性的前提下实现预期性能。针对一套数值孔径0.33的极紫外光刻物镜,进行了补偿器的优选和定位精度分析。根...
关键词：光学设计 公差分析 补偿器 反射系统 极紫外光刻 
高光能利用率极紫外光刻波纹板照明系统设计被引量：3
《光学学报》2015年第3期294-300,共7页梁欣丽 李艳秋 梅秋丽 
国家科技重大专项(2012ZX02702001-002)
针对极紫外光刻照明系统光能利用率低的问题,设计了一套高光能利用率极紫外光刻波纹板照明系统。该系统中波纹板面形采用柱面镜阵列,降低了加工难度;并且根据波纹板反射光线的特性,确定了由修正型复合抛物面聚光镜与二次曲面反射镜组作...
关键词：光学设计 波纹板照明系统 反射系统 极紫外光刻 
16～22nm极紫外光刻物镜工程化设计被引量：14
《光学学报》2013年第9期249-256,共8页曹振 李艳秋 刘菲 
国家科技重大专项(2012ZX02702001-002)
极紫外光刻是16～22nm光刻技术节点的候选技术之一,其投影物镜设计需在满足像质和分辨率要求的前提下,兼顾工程可实现性。在考虑加工、检测和制造约束的情况下,设计了像方数值孔径分别为0.3和0.32、曝光视场为26mm×1.5mm的极紫外光刻...
关键词：光学设计 投影物镜 反射系统 极紫外光刻 
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