国家自然科学基金(50572012)

作品数：2被引量：2H指数：1
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相关机构：大连交通大学大连理工大学更多>>
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相关主题：磁控溅射SINX基片温度微观结构MAGNETRON_SPUTTERING更多>>
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Ultra-thin a-SiN_x protective overcoats for hard disks and read/write heads
《Chinese Physics B》2009年第4期1570-1573,共4页丁万昱 徐军 陆文琪 邓新绿 董闯 
Project supported by the Major Program of the National Natural Science Foundation of China (Grant No 50390060);the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos 60576022 and 50572012)
This paper reports that amorphous silicon nitride （a-SiNx） overcoats were deposited at room temperature by microwave ECR plasma enhanced unbalanced magnetron sputtering. The 2 nm a-SiNs overcoat has better anti-corr...
关键词：hard disk overcoat ULTRA-THIN a-SiNx plasma enhanced magnetron sputtering 
基片温度对SiNx薄膜结晶状态及机械性能的影响被引量：2
《物理学报》2008年第8期5170-5175,共6页丁万昱 徐军 陆文琪 邓新绿 董闯 
国家自然科学基金重大项目(批准号:50390060);国家自然科学基金(批准号:60576022,50572012)资助的课题~~
利用微波电子回旋共振增强磁控反应溅射法在不同基片温度下制备无氢SiNx薄膜.通过傅里叶变换红外光谱、透射电子显微镜、台阶仪、纳米硬度仪等表征技术,研究了基片温度对SiNx薄膜结晶状态、晶粒尺寸、晶体取向等结晶性能以及薄膜的生长...
关键词：SINX 磁控溅射 微观结构 硬度 
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