陕西省教育厅科研计划项目(05JS02)

作品数：1被引量：2H指数：1
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IBAD工艺中离子参数与薄膜折射率研究被引量：2
《西安工业大学学报》2007年第1期15-18,23,共5页杭凌侠 刘政 
陕西省教育厅项目(05JS02);国防基础科研项目
采用五栅网离子能量测量装置和法拉第筒测量了宽束冷阴极离子源的离子能量和离子束流密度.当Ar气流量为20 sccm,在不同的放电电压和引出电压下,测得离子能量分布范围为400～820 eV,束流密度分布范围为7.8～52.8μA/cm2.在O2气流量为20 s...
关键词：冷阴极离子源 离子能量 离子束流密度 折射率 
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