国家自然科学基金(52090101)

作品数：4被引量：37H指数：2
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基于吸收系数修正的硅片激光弯曲模拟与实验被引量：2
《光学精密工程》2008年第10期1928-1935,共8页王续跃 胡亚峰 许卫星 吴东江 
国家自然科学基金资助项目(No.52090101);国家863高技术计划研究发展计划资助项目(No.2002AA421230);辽宁省自然科学基金资助项目(No.20062181)
考虑热吸收系数随温度变化的因素,以硅为对象进行了激光弯曲模拟和实验。借助APDL语言编写了激光弯曲成形的仿真程序,对单脉冲作用过程进行模拟,以得到单点脉冲周期内的温度分布;采用NiCr/NiSi合金薄膜热电偶对单脉冲作用过程中的温度...
关键词：激光弯曲 吸收系数 脉冲激光 硅片 
青铜结合剂金刚石砂轮激光修锐试验研究被引量：2
《大连理工大学学报》2007年第6期823-828,共6页王续跃 汲丛平 康仁科 王连吉 牛伟光 
国家自然科学基金资助项目(重大项目52090101);国家"863"计划资助项目(2002AA421230)
用YAG脉冲激光对青铜结合剂金刚石砂轮进行修锐试验研究,为改善激光修锐效果,提出辅助交叉吹气的方法,实验研究了激光功率密度和离焦量对结合剂去除效果的影响.对修锐后的砂轮表面形貌显微观察表明,辅助交叉吹气方法有助于磨粒的暴露,...
关键词：激光修锐 青铜结合剂 金刚石砂轮 
利用图像处理技术评价硅片表面清洗率被引量：7
《光学精密工程》2007年第8期1263-1268,共6页王续跃 许卫星 司马媛 吴东江 康仁科 郭东明 
国家自然科学基金资助项目(No.52090101);国家"863"高技术计划资助项目(No.2002AA421230)
介绍了一种基于Matlab图像处理工具箱技术的评价硅片表面污染颗粒激光清洗率的新方法。借助Matlab图像处理工具箱,对清洗前后硅片表面光学显微镜照片进行处理,编写硅片表面激光干法清洗率的评价程序,统计清洗前后硅片表面评价区域的污...
关键词：激光清洗 硅片 清洗率 图像处理 
激光清洗硅片表面Al_2O_3颗粒的试验和理论分析被引量：29
《光学精密工程》2006年第5期764-770,共7页吴东江 许媛 王续跃 康仁科 司马媛 胡礼中 
国家自然科学基金重大项目(No.52090101);"863"计划资助项目(No.2002AA421230)
以KrF准分子激光器为激光源,对目前工业上常用的硅片研磨抛光液的主要成分Al2O3颗粒进行激光清洗的试验和理论分析。建立一维热传导模型,利用有限元分析软件MSC.MarC模拟硅片表面的温度随激光作用时间和能量密度的分布。通过理论计算,...
关键词：激光清洗 硅片 清洗效率 AL2O3 颗粒 
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