国家自然科学基金(51205043)

作品数：3被引量：6H指数：1
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相关机构：大连理工大学更多>>
相关期刊：《Journal of Donghua University(English Edition)》《微纳电子技术》更多>>
相关主题：表面形貌测量白光干涉光刻胶球形探针更多>>
相关领域：机械工程理学一般工业技术更多>>
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Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针的制作
《微纳电子技术》2016年第8期541-546,551,共7页原作兰 刘淑杰 张元良 
国家自然科学基金青年项目(51205043);高等学校博士学科点专项科研基金新教师基金资助项目(20120041120033)
针对广域光-接触多探针方法测量光刻胶表面形貌的需要,设计制作了Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针,该探针呈9×9二维阵列分布。先利用ANSYS有限元软件分析探针Si_3N_4弹性薄膜的厚度和面积尺寸对探针测量范围的影响规律,得到了优化的几何...
关键词：独立多探针 微电子机械系统(MEMS) 广域测量 SU-8探针 Si3N4弹性薄膜 
Machinery Condition Prediction Based on Support Vector Machine Model with Wavelet Transform
《Journal of Donghua University(English Edition)》2014年第6期831-834,共4页刘淑杰 陆惠天 李超 胡娅维 张洪潮 
National Natural Science Foundation of China(No.51205043);the Special Fundamental Research Funds for Central Universities of China(No.DUT14QY21)
Soft failure of mechanical equipment makes its performance drop gradually,which occupies a large proportion and has certain regularity. The performance can be evaluated and predicted through early state monitoring and...
关键词：support vector machine(SVM) wavelet transform(WT) vibration intensity probabilistic forecasting 
透明软质薄膜的表面形貌测量被引量：6
《中国光学》2014年第2期326-331,共6页刘淑杰 张元良 张洪潮 
国家自然科学基金资助项目(No.51205043);高等学校博士学科点专项科研基金新教师基金资助项目(No.20120041120033)
为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量,对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性,根据其柔软、透明的特征提出应用光干涉法和机械探针相结合的方法进行测量,同时阐明了使用此方法进行表面形貌测量的优点,...
关键词：表面形貌测量 光刻胶 白光干涉 多点球形探针 
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