博士科研启动基金(A2006-01)

作品数：2被引量：1H指数：1
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相关主题：监控技术等离子体刻蚀OES故障诊断FTIR更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
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等离子体刻蚀工艺中的OES监控技术被引量：1
《红外与激光工程》2008年第2期326-329,共4页王巍 兰中文 吴志刚 孙江宏 龚云贵 姬洪 柏杨 
国家自然科学基金资助项目(60236010);重庆邮电大学博士启动基金资助项目(A2006-01)
采用光学发射光谱(OES)原位检测技术,对等离子体刻蚀机中的等离子体状态进行实时监控,讨论了其在故障诊断、分类、刻蚀终点的判断及控制方面的应用。实验平台为在新研发的高密度等离子体刻蚀机,采用化学气体HBr/Cl2为刻蚀气体进行多晶...
关键词：等离子体刻蚀 OES 故障诊断 终点检测 
等离子体刻蚀过程中的FTIR监控技术
《红外与激光工程》2007年第z1期124-126,共3页王巍 吴志刚 兰中文 姬洪 
重庆邮电大学博士启动基金资助项目(A2006-01)
采用傅里叶红外光谱仪(FHR)和MCT红外探测器可以构成原位的FTIR测量系统,可应用于在电感耦合等离子体刻蚀机中进行的硅刻蚀工艺.文中对反应腔室腔壁状态对刻蚀过程的影响,以及在硅晶片表面反应层的变化进行了详细的研究.实验表明:采用含...
关键词：等离子体刻蚀 FTIR MCT探测器 检测 
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