贵州省科学技术基金([2009]2117)

作品数：3被引量：6H指数：2
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相关作者：宋学萍曹铃孙兆奇陈进军周继冬更多>>
相关机构：安徽大学贵州大学教育部更多>>
相关期刊：《安徽大学学报（自然科学版）》《机械与电子》《功能材料》更多>>
相关主题：射频磁控溅射掺杂表面形貌氧化锌钽更多>>
相关领域：理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
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钽掺杂对氧化锌透明导电薄膜结构和电学特性的影响被引量：3
《安徽大学学报（自然科学版）》2010年第4期59-63,共5页陈进军 曹铃 宋学萍 孙兆奇 
国家自然科学基金资助项目(5087200150642038);教育部博士点专项基金资助项目(20060357003);安徽省人才专项基金资助项目(2004Z029);贵州省科学技术基金项目资助项目([2009]2117)
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上室温沉积不同钽掺杂浓度的氧化锌透明导电薄膜.并对其结构和电学特性进行分析.对衍射峰的分析说明Ta元素以替位Zn元素的形式溶入ZnO晶格中形成了固溶体.当钽掺杂比例从0 wt%增加到10 wt%,晶格常数从0.524...
关键词：Ta-ZnO薄膜 射频磁控溅射 微结构 电阻率 
基于液态电极差动电容的电子水平仪
《机械与电子》2010年第7期35-36,共2页陈进军 王颖 周继冬 王武 
贵州省科学技术基金项目([2009]2117);教育部"国家大学生创新性实验计划"项目(贵大创字(2008)009号)
设计了一种以液态电极差动电容作为倾角传感器的电子水平仪.选用新型电容数字转换器(CDC)芯片AD7746,直接将传感器的电容信号转换成数字量,通过I2C总线交由PIC16F72处理,通过LCD直观显示倾斜角度.
关键词：液态电极电容 倾角传感器 CDC 机器人 
掺杂浓度及退火对Ta-ZnO透明导电薄膜表面形貌的影响被引量：3
《功能材料》2010年第4期687-689,693,共4页陈进军 曹铃 宋学萍 孙兆奇 
国家自然科学基金资助项目(50872001,50642038);教育部博士点专项基金资助项目(20060357003);安徽省科技厅重点资助项目(05021028);安徽省人才专项基金资助项目(2004Z029);贵州省科学技术基金资助项目([2009]2117)
室温下采用射频磁控溅射法在硅衬底上制备了掺Ta-ZnO透明导电薄膜,并在不同温度下退火处理。利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪对薄膜进行了表征分析,对于不同掺杂比例的Ta-ZnO薄膜以及退火后的Ta-ZnO薄膜的表面形貌进行了研究。当...
关键词：Ta-ZnO薄膜 射频磁控溅射 掺杂 表面形貌 退火 
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