上海市科学技术委员会科研基金(0952nm06900)

作品数:4被引量:7H指数:2
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相关作者:黄怡王新王占山穆宝忠朱京涛更多>>
相关机构:同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室中国工程物理研究院更多>>
相关期刊:《光学精密工程》《强激光与粒子束》更多>>
相关主题:MO/SI多层膜等离子体诊断激光等离子体SCHWARZSCHILD成像系统更多>>
相关领域:机械工程理学更多>>
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13.5nm Schwarzschild显微镜系统及成像实验被引量:3
《光学精密工程》2011年第8期1709-1715,共7页王新 穆宝忠 黄怡 朱京涛 王占山 贺鹏飞 
国家自然科学基金资助项目(No.10825521);上海市科学技术委员会科研计划资助项目(No.0952nm06900);国家科技合作项目(No.2008DFA01920)
研制了工作波长为13.5 nm的Schwarzschild成像显微镜。从共轴两镜系统的基本理论出发,通过消除三级球差、彗差和像散设计了Schwarzschild物镜的光学初始结构,计算了物镜的光学传递函数。结果表明,物镜在±0.3 mm视场内像方空间分辨率可...
关键词:成像系统 Schwarzschild成像显微镜 MO/SI多层膜 滤波片 空间分辨率 
多层膜聚光镜对Schwarzschild显微镜成像均匀性的影响
《强激光与粒子束》2011年第5期1259-1263,共5页王新 穆宝忠 黄怡 翟梓融 伊圣振 蒋励 朱京涛 王占山 刘红杰 曹磊峰 谷渝秋 
国家自然科学基金项目(10825521,10773007);上海市科学技术委员会科研计划项目(0952nm06900)
提出了利用多层膜聚光镜提高Schwarzschild显微镜成像均匀性的方法。设计了聚光镜的光学结构,使80%的等离子体辐射能量会聚在约0.8 mm直径的范围内。根据成像系统的工作波长和光线在聚光镜表面的入射角度,设计了Mo/Si周期多层膜,制备了...
关键词:Schwarzschild显微镜 激光等离子体 聚光镜 MO/SI多层膜 空间分辨力 
等离子体诊断用18.2nm Schwarzschild显微镜被引量:5
《强激光与粒子束》2011年第3期647-651,共5页王新 穆宝忠 黄怡 翟梓融 伊圣振 蒋励 朱京涛 王占山 刘红杰 曹磊峰 谷渝秋 
国家自然科学基金项目(10825521,10773007);上海市科学技术委员会科研计划项目(0952nm06900)
研制了用于超快激光等离子体诊断的Schwarzschild型正入射显微镜,该显微镜工作波长为18.2 nm,数值孔径为0.1,放大倍数为10。根据诊断要求设计了Schwarzschild物镜的光学结构,计算了物镜的光学传递函数,结果显示,设计的物镜在±1 mm视场...
关键词:Schwarzschild显微镜 激光等离子体 MO/SI多层膜 空间分辨力 
等离子体诊断用Schwarzschild显微镜的光学设计被引量:1
《强激光与粒子束》2011年第2期397-402,共6页黄怡 穆宝忠 王新 翟梓融 伊圣振 王占山 
国家自然科学基金项目(10825521,10773007);上海市科学技术委员会科研计划项目(10QA1406900,0952nm06900)
基于三级像差理论设计了用于激光等离子体诊断的极紫外Schwarzschild显微镜光学系统。显微镜的工作波长为18.2 nm,数值孔径为0.1,放大倍数为10。光学设计得到中心视场空间分辨力达0.3μm,±1 mm视场内分辨力约0.4μm的结果。分析了Schwa...
关键词:Schwarzschild显微镜 空间分辨力 视场 公差 
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