广东省科技计划工业攻关项目(2004A10403008)

作品数：8被引量：112H指数：4
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相关作者：吴黎明邓耀华王桂棠张力锴薛向东更多>>
相关机构：广东工业大学华南理工大学通用电子有限公司广州大学更多>>
相关期刊：《金属热处理》《半导体技术》《仪器仪表学报》《机械设计与制造》更多>>
相关主题：IC晶片机器视觉标准件亚像素空间矩更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程更多>>
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基于像素分布特性的IC晶片视觉检测方法
《半导体技术》2007年第10期899-903,共5页伍冯洁 吴黎明 
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008)
IC晶片制造过程存在多种致命缺陷,致使芯片失效,导致成品率下降。冗余物缺陷是影响IC晶片成品率下降的重要原因,主要造成电路短路错误。针对冗余物缺陷对版图的影响,提出了一种简单可行的缺陷视觉检测方法,以实现冗余物缺陷的识别及电...
关键词：IC晶片 冗余物 机器视觉 投影定理 
骨架提取在IC晶片缺陷机器视觉识别中的研究被引量：6
《半导体技术》2007年第4期324-327,357,共5页李政广 吴黎明 赖南辉 王立萍 程伟涛 
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008)
光刻工艺导致的IC晶片制造中缺陷种类多样,丢失物和冗余物缺陷是影响成品率下降的重要原因,其主要造成电路开路和短路。提出一种基于骨架特征的IC晶片丢失物和冗余物缺陷短路故障机器视觉识别方法,应用细化算法抽取图像骨架,提供了使用...
关键词：骨架提取 IC晶片 丢失物 冗余物 机器视觉 
IC晶片关键尺寸标定的新方法研究被引量：4
《半导体技术》2005年第12期35-37,43,共4页薛向东 吴黎明 邓耀华 伍冯洁 何仲凯 
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008)
提出了一种基于标准件法的二次标定法,实现了对微距尺寸的高速高精度测量。该方法经过实验测量数据的分析对比,表明比标准件法测量精度有明显提高,满足了IC晶片线宽测量的精度要求。
关键词：标准件 像素当量 空间矩 亚像素 尺寸标定 
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