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作品数：3被引量：10H指数：2
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发文领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学一般工业技术更多>>
发文主题：硅片零偏陀螺真空计微加速度计更多>>
发文期刊：《中国惯性技术学报》《传感器与微系统》更多>>
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蝶翼式MEMS加速度计温度稳定性提升方法被引量：5
《中国惯性技术学报》2022年第2期235-239,共5页蒲金飞 侯占强 虢晓双 曾承志 肖定邦 吴学忠 
国家自然科学基金项目(62104258)。
环境温度变化造成的热应力是影响MEMS加速度计性能的关键因素。为了提升MEMS加速度计温度稳定性,以蝶翼式MEMS加速度计为研究对象,分别在敏感芯片上设计应力释放结构和敏感芯片与陶瓷基底之间设计应力隔离结构。利用有限元分析工具COMSO...
关键词：MEMS加速度计 应力释放与隔离结构 温度稳定性 MEMS加工工艺 
高灵敏度蝶翼式微加速度计抗跌落性能分析与试验被引量：1
《传感器与微系统》2021年第12期22-25,共4页单恒 侯占强 肖定邦 虢晓双 曾承志 吴学忠 
灵敏度与抗冲击性能相互矛盾。以低量程、高灵敏度蝶翼式微加速度计为对象,对其抗跌落性能进行了理论分析与试验研究。介绍了蝶翼式微加速度计的基本结构和工作原理,仿真分析了敏感结构在静态载荷作用下的应力,建立了跌落条件下敏感结...
关键词：微加速度计 跌落 冲击 蝶翼式 
MEMS振动传感器信号检测电路设计与实现被引量：4
《传感器与微系统》2021年第7期63-66,共4页陈伟琪 肖定邦 蒲金飞 李凯 毛善国 
分析了电容检测电路原理,优化设计了C/V模块电路、接口电路和零偏及标度因数补偿电路,并搭建电路以及联合微机械差分电容结构进行了集成测试。经过测试验证,设计的微机电系统(MEMS)振动传感器信号检测电路对微弱电容具有较好的检测放大...
关键词：微机电系统(MEMS)振动传感器 检测电路 补偿电路 测试 
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