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作品数：1被引量：2H指数：1
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发文主题：外延片多量子阱衬底金属有机化学气相沉积超晶格更多>>
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非故意掺杂GaN层厚度对蓝光LED波长均匀性的影响被引量：2
《发光学报》2017年第9期1198-1204,共7页李天保 赵广洲 卢太平 朱亚丹 周小润 董海亮 尚林 贾伟 余春燕 许并社 
国家自然科学基金(51672185;61504090)资助项目~~
通过调整非故意掺杂氮化镓层的厚度,分析氮化镓基LED外延生长过程中应力的演变行为,以控制外延片表面的翘曲程度,从而获得高均匀性与一致性的外延片。由于衬底与外延层之间的热膨胀系数差别较大,在生长温度不断变化的过程中,外延片的翘...
关键词：MOCVD 氮化镓 应力 LED 
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