兰州交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系

作品数：2被引量：1H指数：1
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发文领域：电子电信更多>>
发文主题：静电感应晶体管寄生效应新型结构槽栅肖特基势垒更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》《半导体技术》更多>>
所获基金：甘肃省自然科学基金更多>>
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槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管
《半导体技术》2008年第1期65-67,共3页杨涛 刘肃 李思渊 王永顺 李海蓉 
传统的静电感应晶体管多采用扩硼的方法制备栅极区,这种工艺热预算较高,使得工艺复杂程度和生产成本较高,基于此提出并设计了一种新型的槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管。使用V形槽工艺,用溅射铝的方法代替扩硼工艺制备静电感应晶体管...
关键词：静电感应晶体管 V形槽 等离子体增强化学气相淀积 肖特基势垒 
一种新型结构的静电感应晶体管被引量：1
《Journal of Semiconductors》2007年第6期918-922,共5页唐莹 刘肃 李思渊 吴蓉 常鹏 
甘肃省自然科学基金资助项目(批准号:3ZS051-A25-034)~~
提出了一种新型结构的静电感应器件,设计了一道环绕的深槽,用以切断寄生效应.静电感应器件的寄生效应会导致器件性能的劣化甚至失效,文中提出了寄生效应的模型,并用PSPICE进行了仿真模拟,数值模拟结果和实验结果一致.实验表明这种深槽...
关键词：静电感应晶体管 深槽结构 寄生效应 深槽腐蚀 
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