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AMHS: 作品数：29被引量：22H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>; 相关作者：吴立辉王毅博钱刚王献甫李佳青更多>>; 相关机构：上海集成电路研发中心河南工业大学南京华易泰电子科技有限公司中国电子工程设计院更多>>; 相关期刊：《计量与测试技术》《电子工业专用设备》《人工智能》《工业工程与管理》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金河南省高等学校青年骨干教师资助计划项目更多>>

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晶圆制造AMHS防堵塞路径规划方法研究被引量：2: 《计算机仿真》2023年第11期284-289,共6页吴立辉李元生周秀张中伟; 国家自然科学基金项目(U1704156);河南省科技攻关计划项目(212102210357);上海应用技术大学引进人才科研启动项目(YJ2022-33)。; 自动化物料运输系统(Automated Material Handling System,AMHS)是12英寸晶圆制造系统至关重要的组成部分,AMHS中的天车(Overhead Hoist Transport,OHT)频繁堵塞严重影响AMHS和晶圆制造系统的运行性能。为减少AMHS运行中的OHT堵塞,提出...; 关键词：晶圆制造自动化物料运输系统防堵塞路径规划动态调整