分步工艺

作品数：1被引量：8H指数：1
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用于微惯性器件的ICP刻蚀工艺技术被引量：8
《传感技术学报》2006年第05A期1381-1383,共3页卓敏 贾世星 朱健 张龙 
在微惯性器件加工中,ICP深硅刻蚀技术主要用于梳齿结构的释放.工艺试验中的梳齿结构的最细线条尺寸为2μm,刻蚀深度为40μm,刻蚀的深宽比为20∶1,接近刻蚀设备A601E的加工极限.为了提高刻蚀精度,减小根切和底切效应,本文介绍了一种实现...
关键词：微惯性器件 ICP刻蚀 底切 根切 分步工艺 
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