粗精控制

作品数：3被引量：6H指数：1
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Risley双棱镜与FSM复合轴实时精密控制技术研究被引量：1
《机械》2022年第6期22-31,共10页马秀刚 张文博 陶冶 
四川省科技计划重点研发项目(2021YFG0193);四川大学-达州市人民政府校市战略合作专项项目(2020CDDZ-05)。
针对单探测器复合轴粗精控制方法粗精平台交接换班工作控制复杂、解耦难度大、响应速度慢、控制精度低等问题,本文提出了一种Risley双棱镜与FSM复合轴实时精密控制方法。该方法基于Risley双棱镜与FSM光束指向理论实现了复合轴Risley双...
关键词：Risley双棱镜 FSM 粗精控制 复合轴 RBF神经网络 
基于PQ法的光刻机工件台粗精控制系统设计被引量：1
《制造技术与机床》2010年第10期69-73,共5页陈兴林 武志鹏 张松波 
黑龙江省科技攻关计划(GZ06A104)
为提高步进扫描光刻机工件台控制系统的带宽,采用双输入单输出的粗精控制结构。精动机构实现高精度高响应速度的小行程运动,粗动机构实现低精度的慢速大行程运动。利用PQ法将双输入单输出系统分解为两个平行的单输入单输出系统,分别设...
关键词：工件台 粗精控制 PQ法 光刻机 
高速高精度叠层直线运动控制系统被引量：4
《机械工程学报》2006年第4期196-200,共5页宋亦旭 王健发 杨开明 尹文生 朱煜 贾培发 
在分析粗精动控制系统的耦合及轨迹分配等问题的基础上,介绍叠层试验台高速高精度直线运动的实现: 采用永磁直线交流电动机驱动粗动台,粗动台行程大但带宽较低;音圈电动机驱动精动台,精动台带宽高但行程较小。用绝对空间闭环方式实现试...
关键词：叠层台 粗精控制 轨迹跟踪 
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