原子层外延

作品数：21被引量：16H指数：2
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相关作者：罗岚郭锐张峰赵万顺刘勇更多>>
相关机构：中国科学院信越半导体株式会社华中科技大学华南师范大学更多>>
相关期刊：《液晶与显示》《材料导报》《半导体光电》《光电子技术》更多>>
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电化学原子层外延及其新材料制备应用研究进展被引量：4
《材料导报》2005年第9期87-90,共4页侯杰 杨君友 朱文 郜鲜辉 
国家基础研究重大项目前期专项(2004CCA03200);国家自然科学基金(50401008)
电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长。详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响 ECALE 过程的关键要素...
关键词：纳米超晶格 ECALE 欠电位沉积 原子层外延 
应用原子层外延技术分析Turbo-Disk MOCVD外延生长模式
《液晶与显示》2004年第2期128-133,共6页王浩 廖常俊 范广涵 刘颂豪 郑树文 李述体 郭志友 孙慧卿 陈贵楚 陈炼辉 
国家科技攻关计划资助项目 (No.0 0 0 68) ;国家"973"资助项目 ( 0 0 1CB3 0 93 0 2 ) ;广东省重大科技专项资助项目 (No .2 0 0 3A10 3 0 40 5 )
应用原子层外延与分子层外延的理论研究了Turbo DiskMOCVD外延生长过程 ,发现生长主要发生在衬底表面的台阶处 ,当通过控制生长参数达到优质外延时 ,实际上是一种亚原子外延过程 。
关键词：原子层外延法 分子层外延法 金属有机化学气相淀积 参数调整 外延设备 ALE反应装置 
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