原子层外延

作品数:21被引量:16H指数:2
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相关机构:中国科学院信越半导体株式会社华中科技大学华南师范大学更多>>
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ZnS:Mn原子层外延ACTFEL的老炼特性
《光电子技术》1997年第2期148-153,共6页樊卫华 
本文分析了以对称电压波形驱动的ZnS:MnACTFEL的老化过程。样品用对称波形的电压老炼,因而在老练过程中有一时间平均电场作用在荧光粉层上。利用瞬态测量来判定依赖于老炼过程的电压极性。当用对称老炼及产生正向时间平均场的波形作...
关键词:平均场 原子 对称 电场 极化 判定 时间 电压波形 电压极性 荧光粉层 
绝缘介质Al_2O_3薄膜的数字化生长技术
《仪器仪表学报》1995年第S1期167-169,共3页赵方海 刘扬 郑伟 马力 
采用CVD技术实现了Al2O3薄膜的数字化生长,实验结果表明这种生长方法具有生长温度低、层厚可控等特点,生长出的薄膜每周期生长厚度约为1.19。
关键词:Al2O3薄膜 数字化 生长技术 绝缘介质 生长速率 生长厚度 衬底温度 原子层外延 国家重点实验室 光电子学 
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