真空封装

作品数：95被引量：223H指数：8
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微型MEMS皮拉尼计研究被引量：7
《传感技术学报》2008年第3期513-516,共4页周吉龙 陈肯乐 张锦文 金玉丰 
介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件——微型MEMS皮拉尼计。皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度的[1]。本文设计了一种微型MEMS横向皮拉尼计,结构非常简单,并利用浓硼扩散和键合技术实现了该横向MEMS...
关键词：MEMS 真空封装 皮拉尼计 真空度测试 
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