张锦文

作品数：17被引量：104H指数：6
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供职机构：北京大学更多>>
发文主题：金刚石驻极体放射性同位素电学隔离碳纳米管更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《半导体技术》《电子学报》《功能材料与器件学报》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划河北省自然科学基金更多>>
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金刚石薄膜场发射特性研究现状被引量：2
《功能材料》2023年第9期9007-9016,共10页王旸 张锦文 
国家重点研发计划(2021YFB3200100)。
金刚石薄膜具有负电子亲合能、高热导率和极强的化学惰性等优势,作为场发射材料引起了广泛关注。回顾了金刚石薄膜的分类,介绍了氢化金刚石薄膜具有的负电子亲合能特性,分析了金刚石薄膜场发射特性的影响因素,列举了场发射特性的优化方...
关键词：金刚石薄膜 场电子发射 负电子亲合能 
基于金刚石的先进热管理技术研究进展被引量：6
《电子与封装》2023年第3期63-76,共14页杜建宇 唐睿 张晓宇 杨宇驰 张铁宾 吕佩珏 郑德印 杨宇东 张驰 姬峰 余怀强 张锦文 王玮 
国家自然科学基金“叶企孙”科学基金项目(U2141218)。
以GaN为代表的新一代半导体材料具有宽禁带、高电子饱和速率、高击穿场强等优异的电学性能,使得射频、电力电子器件有了具备更高功率能力的可能,目前限制器件功率提升的主要瓶颈是缺少与之匹配的散热手段。具有极高热导率的金刚石已成...
关键词：热管理 功率器件 金刚石 嵌入式冷却 
稀土上转换发光微纳材料的光物理研究被引量：5
《中国激光》2023年第1期62-74,共13页邓泽宇 杨小涵 张锦文 赵浩然 韩铱沆 董浩 沈杰 
稀土类发光材料由于其丰富的光学特性而具有重要的研究与应用价值。其中,稀土上转换发光材料在近年来尤为受人瞩目,与之相关的研究成果遍布物理、化学、生物、材料和多个交叉领域。有别于大多数发光材料的共性,上转换材料的激发-发射谱...
关键词：材料 稀土上转换发光 发光偏振性 超分辨成像 微型激光 
微波等离子体化学气相沉积方法制备纳米金刚石薄膜被引量：1
《功能材料》2021年第7期7001-7005,7011,共6页林晨 李义锋 张锦文 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2015CB352100);河北省自然科学基金资助项目(E2019302005)。
为了制备出大面积均匀连续的纳米金刚石薄膜,并探索温度、气氛等条件对最终生长出的纳米金刚石薄膜样品的影响,使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,改变CH_(4)、H_(2)、Ar气体比例以及衬底温度,在不同生长条件下制备了5组金刚石...
关键词：纳米金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积 表面预处理 
圆片级封装垂直通孔引线寄生电容研究
《功能材料与器件学报》2012年第6期473-476,共4页张煜 张锦文 王欣 周吉龙 
垂直通孔引线是圆片级封装方法的关键技术之一。针对玻璃衬底垂直通孔引线技术,本文就通孔引线寄生电容开展了研究。首先,利用Ansoft Maxwell 3D对其寄生电容进行了建模和模拟仿真,研究了不同通孔底面直径(d)、玻璃衬底厚度(t)和通孔中...
关键词：寄生电容 玻璃衬底 垂直通孔引线 圆片级封装 
驻极体式微型发电机的研究进展被引量：2
《中国科学：技术科学》2012年第3期241-247,共7页杨兆辉 王婧 张锦文 
国家重点基础研究发展计划("973"计划)(批准号:2009CB320300)资助项目
随着电子系统的尺寸不断减小,研制体积小、重量轻、能量密度高并且能够持续供能的微型发电机将对电子系统具有重要意义.振动能在日常环境中广泛存在,振动能微型发电机是将振动能转化成能给电子系统供能的装置.驻极体式微型发电机是振动...
关键词：驻极体微 型发电机 振动能量采集 
Pyrex7740玻璃通孔湿法腐蚀技术研究被引量：5
《功能材料与器件学报》2011年第6期596-599,共4页张锦文 杨化冰 蒋巍 王龙 
本文研究报道了Pyrex7740玻璃湿法腐蚀通孔技术。将四寸硅玻璃键合圆片的玻璃衬底减薄,并在玻璃上分别制备PECVD SiC、W/Au和PECVD多晶硅三种不同掩膜及其开口,最终利用40%HF腐蚀实现玻璃通孔。整个工艺过程与IC工艺兼容,并可进行圆片...
关键词：Pyrex7740玻璃 湿法腐蚀 深宽比 腐蚀掩膜 
碳纳米管压力传感器研究进展被引量：6
《功能材料与器件学报》2011年第3期253-257,共5页张锦文 李伟 
碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力,而近年来碳纳米管在压力传感器方面的应用成为研究热点之一。本文综述了碳纳米管压力传感器的基本原理以及研究进展,并对不同类型的碳纳米管压...
关键词：碳纳米管 压力传感器 压阻特性 场发射特性 温敏特性 
微型MEMS皮拉尼计研究被引量：7
《传感技术学报》2008年第3期513-516,共4页周吉龙 陈肯乐 张锦文 金玉丰 
介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件——微型MEMS皮拉尼计。皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度的[1]。本文设计了一种微型MEMS横向皮拉尼计,结构非常简单,并利用浓硼扩散和键合技术实现了该横向MEMS...
关键词：MEMS 真空封装 皮拉尼计 真空度测试 
PECVDSiO_2/Si_3N_4双层膜驻极体性能
《功能材料与器件学报》2008年第1期125-128,共4页陈治宇 吕知秋 张锦文 金玉丰 李婷 田大宇 王颖 
国家自然科学基金资助项目(No.60676042)
本文研究了在带有Cr/Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能。针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流程暴露出一部分金属电极,并在电晕注极过程中将底电极引出接地。通过实验改变电晕注极过程中的注极时间、温...
关键词：驻极体 SiO2/Si3N4双层膜 PECVD 
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