等离子体化学

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环境控制与等离子体技术融合对未来高精密抛光难加工材料所构成的挑战(英文)
《金刚石与磨料磨具工程》2022年第6期637-649,F0003,共14页土肥俊郎 會田英雄 大西修 尹韶辉 任莹晖 
以碳化硅、氮化镓和金刚石为代表的宽禁带半导体材料是典型的难加工材料。本研究中,设计2种基于化学机械抛光(CMP)的加工设备,以开发高效高质量加工此类晶体衬底的新技术,并研究讨论使用新设备时的加工机理和难加工衬底的加工特征。加...
关键词：化学机械抛光(CMP) 难加工晶片 箱式设备 等离子体化学蒸发加工 等离子体熔融化学机械抛光 伪自由基场 加工机理 
纳秒脉冲介质阻挡放电等离子体驱动CH_(4)-CH_(3)OH转化制备液态化学品的特性研究被引量：10
《电工技术学报》2022年第15期3941-3950,共10页黑雪婷 高远 窦立广 李江伟 陈根永 邵涛 
国家自然科学基金资助项目(51925703,51637010,51807190,21908219)。
开发非合成气路线的 CH-CHOH 直接制取高碳液态化学品转化技术可有效规避传统工业中面临的高危反应条件、废水排放、原子经济性低等问题。该文以 CH、CHOH 为原料,采用纳秒脉冲放电等离子体驱动 CH-CHOH 直接合成 C-C液态产品,主要探究...
关键词：纳秒脉冲 介质阻挡放电 甲烷转化 等离子体化学 
等离子体在能源环境领域中的应用研究进展被引量：1
《安全、健康和环境》2021年第10期1-7,共7页张婧 
国家自然科学基金项目(21503279):等离子体-催化协同分解硫化氢机理研究。
简要介绍了等离子体在能源环境领域的应用研究进展,在环境方面等离子体技术可实现无机及有机气态污染物脱除、废水处理以及固废的无害化,在能源领域可通过过程强化反应进行化学物质的分解及合成,如硫化氢分解制氢、合成过氧化氢、合成...
关键词：等离子体 能源环境 过程强化 等离子体化学 三废处理 
大气压非平衡等离子体甲烷干法重整零维数值模拟被引量：1
《物理学报》2021年第7期246-258,共13页钟旺燊 陈野力 钱沐杨 刘三秋 张家良 王德真 
国家自然科学基金(批准号:12065019,11705080)资助的课题.
大气压非平衡等离子体由于其独特的非平衡特性,可为甲烷和二氧化碳稳定温室气体分子活化和重整提供非热平衡和活化环境.本文采用了零维等离子体化学反应动力学模型,考虑了详细的CH_(4)/CO_(2)等离子体化学反应集,重点研究了反应气体CH_(...
关键词：大气压非平衡等离子体 甲烷干法重整 零维等离子体化学反应动力学模型 反应机理 
MPCVD金刚石的制备与应用研究进展被引量：7
《金刚石与磨料磨具工程》2021年第1期1-4,共4页马志斌 
武汉工程大学等离子体化学与新材料湖北省重点实验室长期致力于等离子体技术与CVD金刚石方面的研究。2001年至今,围绕高质量、大尺寸多晶和单晶金刚石制备的需要,开展微波等离子体技术与先进微波等离子体化学沉积装备的研究工作,开发出...
关键词：等离子体化学 单晶金刚石 微波等离子体 重大研究计划 国家技术发明 等离子体技术 国家自然科学基金 等离子体源 
等离子体化学动力学效应对超燃燃烧室中氢氧燃烧的影响研究
《推进技术》2019年第1期151-157,共7页郑直 聂万胜 吴海龙 车学科 
国家自然科学基金(91441123;51777214)
为探究等离子体化学动力学对超燃燃烧室中氢氧燃烧流场的影响及其相关机理,在氢气燃料喷流中添加不同浓度的活性粒子以模拟等离子体化学动力学效应。利用数值模拟手段,分析了不同活性粒子浓度下,超燃燃烧室中产物水的生成、凹腔后缘近...
关键词：超燃冲压发动机 化学动力学效应 等离子体 数值计算 
镁合金硅酸盐及复合体系微弧氧化的研究进展被引量：1
《腐蚀科学与防护技术》2013年第6期525-528,共4页庄玉贵 
福建省教育厅科研项目(JA10290和KY2013027)资助
1 前言 镁合金被誉为“21世纪最具发展潜力的绿色工程材料”。但易被腐蚀而限制了镁合金的开发与应用。适当的表面处理，如电镀、化学镀、金属涂层、阳极氧化、化学转化膜处理、激光处理和离子注入等能够极大地改善镁合金的耐腐蚀性能...
关键词：微弧氧化膜 镁合金 复合体系 硅酸盐 阳极氧化技术 绿色工程材料 等离子体化学 耐腐蚀性能 
大气压N_2-O_2混合气纳秒脉冲表面介质阻挡放电建模仿真被引量：11
《高电压技术》2013年第7期1716-1723,共8页朱益飞 贾敏 崔巍 李应红 吴云 
国家自然科学基金(50906100;10972236);高等学校全国优秀博士学位论文专项基金(201172)~~
大气压N2-O2混合气ns脉冲表面介质阻挡放电(SDBD)机理是等离子体气动激励与流动耦合作用机制研究的重要内容。为此,耦合等离子体化学反应动力学方程和考虑能量的等离子体漂移-扩散方程组,建立了大气压下N2-O2混合气ns脉冲放电的2维模型...
关键词：大气压 表面介质阻挡放电 SDBD NS脉冲 N2-O2混合气 等离子体化学 仿真模型 
先进实用技术和产品二则
《设备管理与维修》2012年第5期74-74,共1页
●轻合金表面微弧氧化陶瓷涂层技术及设备 中国兵器科学研究院宁波分院开发的微弧氧化陶瓷涂层技术是一种直接在轻合金表面原位生长陶瓷层的工艺技术，是将铝、镁、钛等轻合金置于电解质水溶液中，利用电化学方法在该材料的表面火花放...
关键词：实用技术 电化学方法 产品 电解质水溶液 等离子体化学 涂层技术 微弧氧化 科学研究院 
产品介绍
《模具工业》2011年第11期61-61,共1页
专利名称：WC、SiC光学模压模具的大气等离子体化学加工方法专利申请号：CN200910072963．
关键词：产品介绍 哈尔滨工业大学 等离子体化学 专利申请号 专利名称 加工方法 申请人 公开号 
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