等离子增强化学气相沉积

作品数：61被引量：196H指数：7
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氩气流量对射频CVD法沉积类金刚石碳薄膜的影响
《超硬材料工程》2024年第6期11-16,共6页汤黎辉 肖长江 任瑛 张群飞 郑皓宇 栗正新 
工信部高质量发展专项(203ZS20230005);河南省重大科技专项高端超硬材料制品关键技术研究及产业化(221100230100)。
文章采用射频CVD沉积法,以甲烷和氢气为反应物,在硅(111)基底上沉积类金刚石碳薄膜,分析不同氩气流量对类金刚石碳薄膜性能的影响。利用激光拉曼光谱仪对类金刚石碳薄膜的结构特征进行分析,发现在1400~1700 cm^(-1)区间,有一个明显的宽G...
关键词：等离子增强化学气相沉积 类金刚石碳膜 拉曼光谱 
立方氮化硼生物涂层进展
《超硬材料工程》2020年第6期34-34,共1页无 
日本九州大学JASON H.C.YANG和KUNGEN TEII等人通过使用等离子增强化学气相沉积法制备了高质量的、具有较高体外生物相容性的cBN膜。当在氢和氮等离子体中化学处理cBN膜时,无论是否受到低能离子的影响,由于去除了末端cBN表面的氟原子,...
关键词：立方氮化硼 等离子增强化学气相沉积 日本九州大学 超硬涂层 生物医学应用 表面自由能 生物涂层 超亲水 
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