正入射

作品数：76被引量：138H指数：5
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18～20nm正入射宽带多层膜的研究被引量：2
《中国激光》2000年第11期1016-1018,共3页柯常军 王占山 万重怡 曹健林 
国家自然科学基金!(编号 :6 97780 2 6 )
采用随机数的方法在 18～ 2 0 nm波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜 ,理论上得到了高于周期膜系 8%的积分反射率 ,同时带宽与视场范围有明显的展宽 ,并用磁控溅射法进行了初步制备。对反射率的相对测试表明 ,与周期膜系相比 ,非周...
关键词：软X射线 宽带多层膜 磁控溅射 反射率 
C/Al软X射线多层膜反射镜
《中国激光》1999年第9期808-810,共3页吕俊霞 马月英 裴舒 曹健林 
国家科委863高科技项目
在λ=285nm波长处，选择了一种新的多层膜材料对C／Al。与Mo／Si，C／Si软X射线多层膜相比，正入射C／Al多层膜在150nm附近有很低的二级衍射峰。用磁控溅射法制备了C／Al软X射线多层膜样品，并用X射线小角衍射法对其结构进行了测试。
关键词：软X射线 正入射 多层膜反射镜 
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