直线度测量

作品数:108被引量:297H指数:10
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大型超精密机床导轨卸荷系统结构设计与测试被引量:6
《光学精密工程》2007年第9期1383-1390,共8页张景和 张顺国 赵海潇 何远新 董申 
国家十五攻关资助项目(No.41318.2.12)
设计制造了一种新型的,适用于大型超精密机床的导轨卸荷系统。分析了卸荷系统中弹簧数量对卸荷系统性能的影响,并设计了连接卸荷浮板与导轨负荷的卸荷弹簧机构用于精确调整卸荷量的大小,并测试了卸荷弹簧的刚度。设计了卸荷浮板结构并...
关键词:超精密机床 卸荷系统 结构设计 直线度测量 
激光束角漂移对双频激光直线度测量的影响被引量:2
《光电工程》1998年第4期55-61,72,共8页于瀛洁 张之江 张善钟 
利用惠更斯关于波面传播的理论,分析计算了双频激光渥拉斯顿棱镜直线度测量系统中激光束角漂移以及渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量精度的影响,得到了相应的结论。
关键词:双频激光干涉仪 直线度测量 激光束角漂移 
高精度直线度基准装置
《仪器仪表学报》1995年第S1期370-373,共4页张善钟 浦昭邦 武晋燮 赵辉 
本文介绍的以激光波长为测量基准,以单尺反转误差分离为基本测量原理的高精度直线度基准装置,具有结构简单,工作稳定,测量精度高,且测量误差不随被测尺长的加长而增大的特点。该装置的主要技术指标为:分辨力4nm,示值变动性≤...
关键词:直线度测量 高精度 直线度误差 单尺反转 测量不确定度 测量原理 测量基准 检定不确定度 运动误差 测量结果 
直线度测量中采样间距与偏差形状关系的理论研究被引量:4
《航空计测技术》1995年第2期9-11,13,共4页张凤翔 赵辉 
从频域理论上对直线度测量中采样间距与偏差形状的吻合关系进行了较为深入的理论分析,提出在相同的采样误差条件下,随着采样点数的增加,测量误差将随之下降。因此,直线度测量采样间距的选择应按测量准确度要求来确定。
关键词:直线度测量 采样间距 偏差形状 
直线度测量中采样间距的确定被引量:11
《宇航计测技术》1994年第6期44-46,共3页赵辉 张善钟 强锡富 
对直线度测量中如何确定采样间距的问题进行了理论分析,指出了传统的Nyquist采样定理在直线度测量中的缺陷,并提出了具体的改进公式。同时提出,应按测量准确度要求来确定被测信号的最高频率,并以此来确定直线度采样间距。实...
关键词:直线度测量 采样 周期 
国内外高精度直线度测量技术现状被引量:13
《现代计量测试》1994年第3期2-5,16,共5页张善钟 赵辉 
本文对1985年以后在世界范围内出现的各种高精度直线度测量方法进行了系统的归类和详尽的对比分析.并对存在的问题和未来的发展趋势进行评述.
关键词:精度 直线度 测量 
双频激光三尺组合法直线度测量系统被引量:5
《仪器仪表学报》1994年第2期133-137,共5页张善钟 赵辉 浦昭邦 武晋燮 
本文提出一种双频激光三尺组合法直线度测量系统。理论分析及实验结果都说明本系统可望获得优于0.1μm/m的精度,是提高现有直线度测量精度的一个较实用的方法。
关键词:激光三尺组合 直线度测量 测量系统 
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