云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 低温合金

低温合金: 作品数：17被引量：9H指数：2; 导出分析报告; 相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>; 相关作者：丁玉梅杨卫民莫伟伟刘文李继强更多>>; 相关机构：天津百瑞杰焊接材料有限公司浙江大学宁波思明汽车科技股份有限公司北京化工大学更多>>; 相关期刊：《热电技术》《机电信息》《半导体技术》《金属加工（冷加工）》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金陕西省教育厅自然科学基金江苏省自然科学基金江苏省科技支撑计划项目更多>>

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Si基GaNHEMT低温欧姆接触工艺研究: 《固体电子学研究与进展》2013年第1期72-75,96,共5页王金孔岑周建军倪金玉陈堂胜刘涛; 国家自然科学基金资助项目(61106130);江苏省自然科学基金资助项目(BK2012516);江苏省科技支撑资助项目(BE20120070); 研究了在Si基GaN外延材料上实现低温欧姆接触的技术途径。研究了外延层的刻蚀深度、合金温度以及不同金属体系对接触特性的影响,发现外延层刻蚀深度的优化可显著改善欧姆接触特性。采用Ti/Al(10/200nm)金属,在外延层刻蚀深度为20nm以及...; 关键词：氮化镓高电子迁移率晶体管外延层减薄低温合金欧姆接触