低温合金

作品数：17被引量：9H指数：2
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InP基PHEMT欧姆接触低温合金化工艺的研究被引量：1
《半导体技术》2005年第10期15-18,共4页李潇 张海英 李海鸥 尹军舰 刘亮 陈立强 
国家自然科学基金资助项目(60276021)国家重点基础研究规划资助项目(G2002CB311901)
对InP基PHEMT的源漏欧姆接触低温合金化工艺进行了研究,与常规的合金工艺不同,通过在低温下进行合金化,并采用金属面倒置和快速热退火的办法,制成了比接触电阻为1.26×10-3Ω·cm2 形貌良好的欧姆接触。避免了PHEMT各层化合物半导体之...
关键词：磷化铟 赝配超晶格高电子辽移率晶体管 低温合金 欧姆接触 
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