云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 软X射线

软X射线: 作品数：668被引量：1205H指数：13; 导出分析报告; 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>; 相关作者：崔明启王占山陈波徐至展蒋诗平更多>>; 相关机构：中国科学院中国科学技术大学中国工程物理研究院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>

上海光源软X射线谱学显微光束线的进展与应用: 《光机电信息》2011年第11期27-31,共5页彭忠琦; 国家自然科学基金资助项目(No.11079035);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(No.O9Q33FQ091); 介绍了国外与国内同步辐射装置及第三代同步辐射光源进展,回顾了国内软X谱学显微光束线的发展过程,叙述了上海同步辐射光源及软X谱学显微光束线的进展。展望了软X谱学显微光束线的应用,其为开辟新科学、新领域发挥了积极推动作用。; 关键词：同步辐射上海光源软X射线高分辨率光束线应用

Development of Multilayer Optics for the EUV, Soft X-ray and X-ray Regions in Tongji University: 《光机电信息》2005年第12期12-21,共10页WANG Zhan-shan ZHU Jing-tao WANG Hong-chang WANG Feng-li CHEN Ling-yan; the National Natural Science Foundation of China under the contract numbers 60178021,60378021 , 10435050; National High Technology Research and Development“863”Program of China.(No.3); In EUV and X- ray regions, multilayer mirrors are the essential and necessary optics elements. The good prospects of the EUV and X- rays for next generation lithography system, microscopy in the “water windows”, ast...; 关键词：EUV 软X射线同济大学多层膜应用光学电子束宽带偏振器

同步辐射软X射线束线单色器被引量：5: 《光机电信息》2001年第9期35-39,共5页卢启鹏; 在同步辐射装置上,需要建立大量光束线,满足不同实验的要求,束线单色器就是光束线的核心。随着光栅理论和束线光学研究的不断深入,束线单色器得到不断发展,本文只就广泛应用于同步辐射装置中的几种软X波段掠入射束线单色器进行介绍,并...; 关键词：束线单色器软X射线同步辐射

超精密软X射线光学系统的开发和应用: 《光机电信息》1999年第8期21-24,共4页吴秀丽; 极紫外线缩小光刻它在原理方面与紫外线缩小曝光一样,在软X射线领域用高反射率的多层膜代替透镜,掩模用4～5倍的缩小刻线掩模,因为使用了厚Si基片形成多层膜,因此用同步辐射(SR)光源可以忽略热应力等影响,而且确保高精度图形,在缩小光...; 关键词：光学系统软X射线超精密

0.1μm器件以后的SR缩小光刻: 《光机电信息》1999年第8期31-32,共2页; 极紫外曝光(EUVL)从原理上说与紫外缩小光刻是一样的,其特点是代替折射透镜,使用了反射镜一面镀有软X射线范围具有较高反射率的多层膜的反射缩小光学系统。掩模可用放大4—5倍的掩模,并且该掩膜上用多层膜形成的大块基板,因此可以忽略S...; 关键词：极紫外曝光软X射线紫外缩小光刻多层膜

软X射线投影光刻用反射式光学系统的设计被引量：1: 《光机电信息》1999年第7期7-12,共6页金友; 1 第一代系统设计的目标和限制各种类型的光学设计系统中具有很大像场的系统对用于第一代投影光刻是很有用的。为了获得未来半导体器件制造要求的高密集度的电路集成。光学系统的分辨率要达到0.1μm。工作波长选定为131nm,因为在这个波...; 关键词：光学系统设计反射式软X射线投影光刻

实验软X射线系统及其应用的进展: 《光机电信息》1999年第5期1-5,共5页沈立新; 本特集选自21世纪软X射线国际专题会议论文集。; 关键词：软X射线激光波带片等离子体

X射线、软X射线和极紫外光学仪器的新概念和应用: 《光机电信息》1999年第5期5-14,共10页金友; 本文回顾了目前用于极紫外、软X射线和X射线光学仪器的几项技术的研究进展情况。这些新概念的应用包括:高能等离子体的诊断、多电荷离子束和物质(原子、分子、离子、微结构、表面、固体)相互作用的光谱测量研究和生物医学X射线显微术等。; 关键词：X射线软X射线极紫外光学仪器

软X射线