时栅

作品数：302被引量：665H指数：15
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基于光场式时栅空间调制函数特征分析的辅助装配调校系统研究
《光学精密工程》2024年第22期3323-3335,共13页金重宇 付敏 邓晶月 苟李 冉茂明 
国家自然科学基金面上项目(No.52375526,No.51875070);重庆市教委重大项目(No.KJZDM202201103);重庆市科委自然科学基金面上项目(No.CSTB2022NSCQ-MSX0950);重庆市自然科学基项目(No.cstc2021jcyj-msxmX0379)。
位移传感器的装配精确性直接决定了传感器的测量精度,而辅助调校系统是实现精确装配的关键。本文基于光场式时栅结构特征与测量原理,分析其输出信号的空间调制函数与装配的关系,提出了一种以传感器输出测量信号为安装指标的辅助装配调...
关键词：时栅 光栅 装配误差 滚转角 
多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器
《光学精密工程》2024年第20期3026-3046,共21页杨继森 修府 张静 袁俊松 张小龙 
国家自然科学基金(No.52175454);重庆市自然科学基金面上项目(No.CSTB2023NSCQ-MSX0382);重庆市教委科学技术研究计划重点项目(No.KJZD-K202301106);重庆市研究生科研创新项目(No.CYS240668)。
针对增量式平面二维时栅位移传感器上电需找零的问题,设计了一种基于多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器,其采用不同频率分时驱动激励电信号,降低传感器电路功耗的同时,使X,Y方向的信号解耦合二维绝对位置解算更加简单可靠。首...
关键词：多频磁场 对极数互质 绝对式二维 时栅位移传感器 
基于误差函数相位偏移的电场式时栅角位移传感器自标定
《光学精密工程》2024年第18期2803-2813,共11页于治成 黎自豪 蒲红吉 吴昶亮 展丙男 
国家自然科学基金资助项目(No.62103069);重庆市教委科学技术研究项目资助(No.KJQN202101121);国家自然科学基金重点项目资助(No.51935004)。
比对标定对于传感器测量精度的保持和提升具有重要意义,但其易受现场环境限制,且成本昂贵。电场式时栅精度不断刷新,寻找外部参考基准也变得日益困难。针对这一难题,提出了以圆周封闭原则为基准,利用傅里叶级数的平移定律,将电场式时栅...
关键词：电场式 角位移传感器 自标定 误差移相 谐波分量 
基于交变磁场的平面二维时栅位移传感机理及测量模型
《光学精密工程》2024年第17期2612-2624,共13页陈自然 欧阳辉 张桁潇 彭凯 王伟 崔南川 
国家自然科学基金资助项目(No.52175495);重庆市自然科学基金资助项目(No.CSTB2023NSCQLZX0088);重庆英才项目(No.cstc2022ycjh-bgzxm0098,No.cstc2022ycjh-bgzxm0146)。
针对传统的平面二维位移传感器在超精密光刻、大面积传感器制造中存在的技术瓶颈,提出一种基于空间交变磁场的平面二维位移测量方法。在定尺平面布置均匀等间距的正弦/余弦激励绕组,施加时间正交激励电流,构建空间二维交变磁场,建立空...
关键词：二维位移测量 交变磁场 时栅传感器 组合测量 
基于离散绕组的磁场式时栅位移传感器及误差特性被引量：2
《光学精密工程》2023年第19期2836-2849,共14页陈自然 张桁潇 何智颖 陈鸿友 余海游 
国家自然科学基金资助项目(No.52175495,No.51935004);重庆市自然科学基金面上项目(No.cstc2020jcyj-msxmX0917);重庆市研究生科研创新项目(No.CYS22655)。
针对高精度位移传感器难以加工的难题,提出一种基于离散绕组的磁场式时栅位移传感器。通过设计离散激励绕组排布方式与感应绕组的形状控制感应位移信号的变化规律,通过组合测量方式实现精密位移测量。通过理论建模、仿真分析与实验验证...
关键词：直线位移 离散绕组 组合测量 时栅传感器 误差分析 
基于差极结构的绝对式直线时栅位移传感器研究及测量误差特性分析被引量：10
《光学精密工程》2022年第6期667-677,共11页陈自然 黎锡 冯曦颉 陈鸿友 张桁潇 余海游 
国家自然科学基金项目(No.52175495,No.51775075);中国博士后科学基金项目(No.2021M691392);重庆理工大学研究生创新项目(No.clgycx20202075)。
针对传统绝对式位移传感器复杂编码和严苛光刻加工的难题,提出了一种“精机定位+精机测量”的差极结构绝对式时栅位移测量新方法。传感器定尺分为两列对极数相差1的激励绕组,每列激励绕组由空间正交排布的正/余弦绕组构成。通过施加正...
关键词：绝对式位移测量 时栅传感器 差极结构 测量误差分析 
不同安装模态对嵌入式时栅测量误差的影响被引量：7
《光学精密工程》2020年第10期2290-2300,共11页孙世政 周清松 韩宇 何泽银 
中国博士后科学基金面上项目资助(No.2018M633626XB);重庆市重点实验室开放课题基金资助项目(No.CKLURTSIC-RFKT-201806);交通工程应用机器人重庆市工程实验室开放课题(No.CELTEAR-KFKT-201805)。
为提高嵌入式时栅传感器测量精度,对不同安装模态下测量精度进行了表征。从嵌入式时栅传感器传感机理出发,分析了安装气隙变化、径向安装偏差和轴向安装偏差对传感器测量精度的影响规律,建立了不同安装模态的误差模型。对传感器不同安...
关键词：嵌入式时栅传感器 安装模态 安装误差 测量精度 
基于平面线圈的高分辨力时栅角位移传感器被引量：8
《光学精密工程》2017年第1期172-181,共10页鲁进 陈锡侯 武亮 汤其富 
国家自然科学基金资助项目(No.51505052;No.51405049);重庆市科技研发基地能力提升计划项目(No.cstc2014pt-sy40002)
针对现有时栅角位移传感器采用漆包线绕制工艺加工线圈,导致线圈布线不均且容易随时间发生变化进而影响测量精度的问题,提出一种基于PCB技术的新型时栅角位移传感器。该传感器通过在PCB基板的不同层上布置特定形状的激励线圈和感应线圈...
关键词：角位移测量 平面线圈 高分辨力 时栅 传感器 
寄生式时栅传感器动态测量误差的贝叶斯建模被引量：4
《光学精密工程》2016年第10期2523-2531,共9页杨洪涛 章刘沙 周姣 费业泰 彭东林 
国家自然科学基金资助项目(No.51107001);时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室开放课题资助项目(No.KFKT2013001)
为了提高寄生式时栅传感器的测量精度,分析了它的工作原理和动态误差组成,得到其主要误差分量为常值误差、周期误差和随机误差等。针对寄生式时栅误差特点,建立了寄生式时栅动态误差高精度预测模型,并与其他建模方法进行了比较。选用插...
关键词：寄生式时栅 时栅传感器 测量误差 贝叶斯原理 标准值插入 误差建模 
变耦型时栅传感器及测头姿态对测量误差的影响被引量：5
《光学精密工程》2016年第9期2271-2282,共12页鲁进 陈锡侯 汤其富 武亮 
国家自然科学基金资助项目(No.51505052;No.51405049);重庆市科技研发基地能力提升项目(No.cstc2014pt-sy40002)
根据时栅传感器的测量原理,提出一种采用高频时钟脉冲作为测量基准的变耦型时栅位移传感器以提高位移测量的精度。该传感器通过改变激励线圈和感应线圈的耦合状态输出感应位移变化的行波信号来实现精密位移测量。进行了建模和仿真,研究...
关键词：时栅传感器 位移测量 测头姿态 安装误差 测量精度 
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