数字掩模

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步进投影数字光刻技术研究
《中国仪器仪表》2008年第12期48-50,共3页徐文祥 王建 赵立新 严伟 
随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演着不可替代的角色。主要介绍步进投影数字光刻技术的原理及组成,详细阐述关键技术单元,如数字掩模投影成...
关键词：数字掩模 数字光刻 DMD 同轴调焦 
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