双光束干涉

作品数：69被引量：136H指数：6
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相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
相关作者：何文奇于清旭陈珂彭翔翟天瑞更多>>
相关机构：中国科学院大连理工大学吉林大学中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关期刊：《仪器仪表学报》《计量学报》《红外与激光工程》《自然杂志》更多>>
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制作光纤光栅的相移掩模-双光束干涉曝光方法被引量：1
《光电工程》2003年第1期5-7,共3页冯伯儒 张锦 宗德蓉 蒋世磊 
国家自然科学基金(60076019#)资助。
介绍将无铬相移掩模技术和双光束干涉曝光技术用于制作纳米级图形光纤光栅的基本原 理和实验系统设计。提出一种用可移动反射镜使写入光束扫描固定在一起的相移掩模和光纤组合体制作光纤光栅的方法,既便于系统调整,增强曝光能量,又可方...
关键词：光纤光栅 相移掩模 双曝光技术 干涉光刻 PSM 微光刻技术 
双光束法测速度时测量角产生的影响被引量：1
《光电工程》1993年第5期59-64,共6页宗德蓉 黎俊杰 
本文讲述了利用双光束法进行无接触流速的测量。并着重讨论和分析了不同测量角所带来的不同影响,以及最佳测量角的选定。
关键词：激光 双光束干涉 入射角 速度测量 
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